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GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng)，主要由射頻發(fā)生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒(méi)有真空條件的環(huán)境下，迅速活化和清理材料（如單晶片、光學(xué)元件、塑料等）表面雜質(zhì)。本機(jī)是為獲得高質(zhì)量的外延薄膜或光學(xué)涂層，預(yù)先進(jìn)行表面處理的**選擇。

主要特點(diǎn)

1、高速處理物件表面，操作簡(jiǎn)單、安全。

2、無(wú)需真空和腔室環(huán)境。

3、小巧實(shí)用、成本低。

4、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊。

5、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：110/220V 50/60Hz <100W

2、輸出頻率：20-23KHz

3、離子束頭：圓頭10-12mm，矩形頭15-18mm

4、輸入氣壓：*小0.275MPa

5、工作氣氛：空氣、氮?dú)?、氬氣、混合氣體，但不要使用易燃易爆氣體

6、等離子工作壓力：0.048MPa-0.068MPa

7、工作環(huán)境：溫度<42℃，濕度≤40%RH

8、工作臺(tái)：自動(dòng)控制三維工作臺(tái)，X、Y軸電動(dòng)調(diào)節(jié)，Z軸手動(dòng)調(diào)節(jié)

9、真空吸盤：Φ100mm

10、X軸行程：200mm

11、Y軸行程：100mm

12、Z軸行程：50mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：600mm×600mm×1250mm

重量：55kg