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Q150V PLUS 系列全自動超精細(xì)鍍膜儀
Q150V Plus是一款高真空應(yīng)用的超精細(xì)鍍膜設(shè)備,其極限真空度為1x10-6mbar。 結(jié)合使用寬量程潘寧規(guī)和皮拉尼規(guī),可以濺射具有超細(xì)成膜顆粒尺寸的易氧化金屬,適用于高分辨率成像。 更低的背底負(fù)壓去除了腔室中的氧氮和水汽,避免在濺射過程中發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以及在鍍膜過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)或缺陷。 同樣地,較低的散射可得到高純而致密的無定形碳膜。 Q150V Plus除具有Q150T Plus的所有優(yōu)點外,還可獲得更細(xì)成膜顆粒尺寸和更薄的膜,適用于超高分辨率應(yīng)用(放大倍數(shù)高于200,000倍)。
使用Q150V E & ES Plus進(jìn)行碳棒蒸鍍;使用Q150V S & ES Plus濺射貴金屬和易氧化金屬,適合SEM應(yīng)用。
推薦放大倍數(shù):
? up to x 50k using Au 鍍金可達(dá)5萬倍
? up to x 100k using Pt 鍍鉑可達(dá)10萬倍
? above x 100k using Cr, Ir 鍍鉻、銥可達(dá)10萬倍以上
非常適合薄膜應(yīng)用,例如鍍ITO, W, Al, Zn
推薦應(yīng)用:
? 超高分辨率放大SEM應(yīng)用
? TEM載網(wǎng)鍍碳
? FIB保護(hù)性鉑層
? 腐蝕,摩擦和磨損保護(hù)層的研發(fā)
? 醫(yī)療設(shè)備上的保護(hù)層
? BSE 成像
? EDX, WDS, EBSD 分析
? 碳復(fù)型膜
? 納米技術(shù),如:沸石,聚合物納米刷
Q150V Plus功能特點:
1)全新升級的的用戶界面:
? 電容式觸摸屏靈敏度高,更易觸控使用
? 用戶界面軟件已廣泛更新,使用現(xiàn)代智能手機(jī)界面技術(shù)
? 上下文相關(guān)的全面幫助頁面
? USB接口可輕松進(jìn)行軟件更新,也可將鍍膜程序文件備份/復(fù)制到U盤
? log文件可通過USB端口導(dǎo)出,文件格式為.csv,便于在Excel或類似軟件中分析,log文件包括日期、時間和工作參數(shù)。
? 16GB的閃存可儲存超過1000條鍍膜程序;雙核ARM處理器,可實現(xiàn)快速響應(yīng)的顯示。
2)允許多用戶輸入和儲存鍍膜參數(shù)程序,新功能可根據(jù)*近的使用情況來排列每個用戶的程序。
3)智能邏輯系統(tǒng)自動識別插入頭,并顯示相應(yīng)的操作設(shè)置和控制。
4)系統(tǒng)提示用戶確認(rèn)靶材,然后自動為該材料選擇適當(dāng)?shù)膮?shù)。
5)直觀的軟件允許生手或偶用者快速輸入和存儲其處理參數(shù)。 為方便起見,系統(tǒng)已存儲一些典型的濺射和鍍碳程序,也允許用戶創(chuàng)建自己的操作程序。
6)如果軟件檢測到在一段時間內(nèi)無法達(dá)到一定真空,在真空泄漏的情況下會終止程序,以防真空泵過熱。
7)可互換的鍍膜插入頭:允許用戶將系統(tǒng)配置為濺射鍍膜儀、蒸發(fā)或輝光放電系統(tǒng) - 所有這些都是在一臺設(shè)備中,節(jié)省空間。 碳繩可選碳繩蒸發(fā)。更換插件時自動檢測鍍膜插頭類型。
8)可拆卸腔室,設(shè)有防爆罩:可拆卸式玻璃腔室,容易清潔底座和頂板。如有必要,用戶可以快速更換腔室,以避免敏感樣品的交叉污染。高腔室選項可用于碳蒸發(fā),避免樣品過熱,提高濺射的均勻性和承載較高尺寸的樣品。
9)多種樣品臺可選:Q150V Plus具有可滿足大多數(shù)要求的樣品臺。 所有樣品臺都易于更換、插入式(無螺絲)和高度可調(diào)(旋轉(zhuǎn)行**除外)。
10)Q150V Plus符合行業(yè)CE標(biāo)準(zhǔn)
11)具有“適合TEM應(yīng)用的全自動、厚度可控的碳棒精細(xì)蒸發(fā)”、“磁控冷濺射”、“脈沖清潔用于濺射Al”等獨特技術(shù)。
Q150V Plus具有三種型號:
1)Q150V S Plus全自動濺射鍍膜儀,可濺射易氧化金屬,實現(xiàn)超精細(xì)鍍膜,可濺射的靶材包括鉻、銥和所有貴金屬。
2)Q150V E Plus全自動蒸發(fā)鍍碳儀(碳棒、碳繩),適合TEM應(yīng)用,用于TEM柵網(wǎng)鍍碳。
3)Q150V ES Plus是集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種鍍膜方式的一體化鍍膜系統(tǒng),鍍膜頭可在數(shù)秒內(nèi)更換,可選金屬蒸發(fā)/光闌清潔。
Q150V Plus是Quorum Technologies出品的國際認(rèn)可的Q系列鍍膜儀的一部分,全球數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應(yīng)用提供高質(zhì)量的鍍膜解決方案,Q系列功能多樣、價格合理且易于使用。
主要操作性能:
1)離子濺射:濺射電流可設(shè)范圍寬,至預(yù)設(shè)厚度(需選用FTM)終止或定時終止??稍O(shè)濺射時間寬,無需破真空,自動內(nèi)置冷卻占空比。
2)蒸鍍:可用碳棒(可選碳繩)蒸鍍碳膜;選用鎢籃或鉬舟進(jìn)行金屬熱蒸發(fā);選用標(biāo)準(zhǔn)鉬舟清潔TEM光闌
3)可視化狀態(tài)指示
大而多色的LED指示燈,使用戶在一定距離就可輕松識別過程狀態(tài)。指示燈可顯示以下狀態(tài):
◆ 初始化中 ◆ 程序運(yùn)行
◆ 空閑狀態(tài) ◆ 正在鍍膜
◆ 程序完成 ◆ 故障停機(jī)狀態(tài)
程序完成后音頻聲音提示。
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