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STACIS主動(dòng)隔振系統(tǒng)

特點(diǎn)&優(yōu)點(diǎn)

1、從0.6Hz開始隔離振動(dòng)，1Hz時(shí)可隔振40%到70%

2、2Hz時(shí)在高度、水平和垂直三個(gè)方向上提供超過(guò)90%的振動(dòng)隔離

3、減少工廠地板鋪設(shè)成本，使設(shè)備能夠安裝在較強(qiáng)振動(dòng)環(huán)境中

4、主動(dòng)帶寬：0.6Hz到150Hz

5、設(shè)備制造商竭力推薦

6、六自由度活動(dòng)硬性底座設(shè)計(jì)，無(wú)氣浮支撐

7、魯棒控制系統(tǒng)，不需要預(yù)先調(diào)適

8、可與設(shè)備內(nèi)置隔振系統(tǒng)兼容

9、當(dāng)環(huán)境振動(dòng)水平隨時(shí)間增加時(shí)，確保設(shè)備滿足自身的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)

10、利用TMC Stacis®技術(shù)通過(guò)壓電陶瓷致動(dòng)器來(lái)消除振動(dòng)

11、帶有基于計(jì)算機(jī)的圖形用戶界面(GUI)的數(shù)字控制器

12、在舊的、有噪音的地板上也可以安裝使用

13、兼容各種地板的高度和類型

14、TMC關(guān)注Stacis III隔振性能，提供全面的售后服務(wù)

15、通過(guò)ROHS認(rèn)證

STACIS®III是先進(jìn)的主動(dòng)振動(dòng)隔離系統(tǒng)。采用先進(jìn)的慣性振動(dòng)傳感器、復(fù)雜的控制算法和先進(jìn)的壓電致動(dòng)器，STACIS通過(guò)連續(xù)測(cè)量地板活動(dòng)，擴(kuò)大和收縮壓電致動(dòng)器過(guò)濾地板振動(dòng)來(lái)進(jìn)行實(shí)時(shí)振動(dòng)隔離。

*初被設(shè)計(jì)用于先進(jìn)半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備振動(dòng)隔離， STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備和材料研究。

Stacis III包括一個(gè)新型改進(jìn)的數(shù)字控制器—DC-2020。它搭載新的高效的雙核處理器，前后面板上都配備以太網(wǎng)和USB串口，新型先進(jìn)控制系統(tǒng)為用戶提供了一個(gè)現(xiàn)代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI)。

Stacis III在世界各地有數(shù)百個(gè)成功安裝案例，對(duì)于大部分振動(dòng)敏感儀器來(lái)說(shuō)都是*理想的振動(dòng)消除系統(tǒng)。