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TMC SEM-Base® VI主動(dòng)隔振基座
TMC SEM-Base® VI主動(dòng)隔振基座

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美國(guó)

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森泉光電有限公司

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用于SEM的主動(dòng)式壓電陶瓷振動(dòng)消除地板式平臺(tái)

STACIS iX SEM-Base主動(dòng)式壓電陶瓷地板式隔振平臺(tái)是專(zhuān)為掃描電子顯微鏡所設(shè)計(jì)的。掃描電子顯微鏡是振動(dòng)*敏感的儀器,而且這些精密儀器都有內(nèi)置的隔振系統(tǒng),SEM-Base可以兼容SEM內(nèi)部預(yù)裝的振動(dòng)隔離系統(tǒng)。

SEM-Base是可以替代65系列STACIS 2100地板式平臺(tái)的簡(jiǎn)潔且性價(jià)比高的選擇。它集成了STACIS技術(shù)但是外形更小,且安裝更加簡(jiǎn)單。

SEM-Base可以從低于1Hz開(kāi)始隔離振動(dòng)。SEM-Base只有6.5in.高,底座尺寸是35.5in.x44.5in.,自重約為650磅,可以支撐900磅(409kg)到2500磅(1134kg)的負(fù)載。

特性:

1、包含STACIS技術(shù)

2、主動(dòng)的內(nèi)部振動(dòng)消除裝置

3、適合大部分商業(yè)SEMs。(35.5*44.5*6.5inch)

4、負(fù)載容量:900-2500lb

5、振動(dòng)消除起始頻率小于1Hz

6、六自由度

8、安裝容易

9、兼容所有內(nèi)置振動(dòng)隔離系統(tǒng)

10、非氣浮系統(tǒng)

11、簡(jiǎn)單,魯棒性好,性價(jià)比高

12、可安裝腳輪,輕松攜帶移動(dòng),不需要搬運(yùn)

Specifications-

Performance Specifications

Active degrees of freedom

6

Active bandwidth

0.6 Hz - 100 Hz

Passive natural frequency

12 Hz nominal

Effective active resonant frequency

0.5 Hz

Isolation at 1 Hz

40% - 70%

Isolation at 2 Hz

90%

Isolation at ≥3 Hz

90-98%

Internal noise

<0.1 nm RMS

Operating load range

Standard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)

High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)

Static lift capacity

12,000 lbs (5454 kg)

Magnetic field emitted

at maximum 4 in.(102 mm)

from the platform

<0.02 μG broadband RMS

Design, Dimensions, and Environmental and Utility Requirements

Environmental and safety

CE and RoHS compliant

Active isolation elements

high-force piezoelectric actuators that receive signal

from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDC

Passive isolation element

single stiff elastomer (no compressed air supply required)

Vibration sensor elements

downward facing geophone type inertial sensors

that measure floor vibration below the isolator

and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motion

Active feedback control loop

Floor vibration is measured, processed

and attenuated below the spring

supporting the isolated surface

Dimensions (WxD)

35.25 x 44.25 in.

895 x 1124 mm

Height

6.3 in. (160 mm) nominal,

doesn't change when SEM-Base is switched off

Operating temperature

50° - 90° F

10° - 32° C

Storage temperature

-40° - 130° F

-40° - 55° C

Humidity (operating)

30 - 60%

System power requirements

100, 120, 230, 240 VAC

50/60 Hz AC; <600 w

CE compliant

Floor displacement

<800 μin. (20 μm) below 10 Hz

Built-in Controller Specifications

Processor

150/75 MHz dual core

Sampling rate

10 kHz

Analog outputs

16 channels

Analog inputs

16 channels

Status light

single LED

Front panel ports

1x serial USB 2.0

1x serial Micro-USB

1x Ethernet RJ-45

2x BNC

User interface

Front panel LCD display

Character menu on HyperTerminal

Extended GUI for Microsoft Windows

Embedded Ethernet GUI

Performance-

1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

更多詳細(xì)信息我們!

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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