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208HR高分辨率鍍膜儀(離子濺射儀)
208HR高分辨率鍍膜儀(離子濺射儀)

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

品牌

產(chǎn)地

美國(guó)

樣本

暫無(wú)
廣州科適特科學(xué)儀器有限公司

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第2年

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貨號(hào):208HR
供應(yīng)商:廣州科適特科學(xué)儀器有限公司
現(xiàn)貨狀態(tài):一個(gè)月
保修期:1年
數(shù)量:不限
規(guī)格:208HR

208HR分辨離子濺射儀為場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用中遇到的各種樣品噴鍍難題提供真正的解決方案。

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡觀察時(shí),樣品需鍍上極其薄、無(wú)細(xì)晶且均勻的膜層以消除電荷積累,并提高低密度材料的對(duì)比度。為了將細(xì)晶的尺寸減小到*小程度,208HR提供了一系列的鍍膜材料,并對(duì)膜厚和濺射條件提供無(wú)可媲美的控制。

208HR分子渦輪泵高真空系統(tǒng)提供寬范圍的操作壓力,可以對(duì)膜層的均勻性和一致性進(jìn)行精確控制,并**程度減小充電效應(yīng)。高/低樣品室的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使靶材和樣品之間的距離調(diào)節(jié)變得極為方便。

MTM-20高分辨膜厚控制儀分辨率小于0.1nm,其作用是對(duì)所鍍薄膜的厚度進(jìn)行精確控制,它尤其適合場(chǎng)發(fā)射電鏡對(duì)膜厚(0.53nm)的要求。

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡鍍膜推薦的靶材是:

  • Pt/Pd:非導(dǎo)電樣品鍍膜的通用鍍膜材料

  • Cr:優(yōu)良的半導(dǎo)體樣品的鍍膜材料

  • Ir:優(yōu)良的真正無(wú)細(xì)晶的鍍膜材料

208HR系統(tǒng)為得到**高分辨鍍膜效果提供了多種配置選擇,可配備標(biāo)準(zhǔn)的旋片泵或提供干凈真空的無(wú)油渦旋式真空泵,標(biāo)配的208HR包含Cr Pt/Pd靶。

一、主要特性

·可選擇多種鍍膜材料

·精確的膜厚控制

·樣品臺(tái)控制靈活:可對(duì)樣品臺(tái)進(jìn)行獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)、行星式轉(zhuǎn)動(dòng)、傾斜控制,保證形貌差異大的樣品也能得到**的鍍膜效果。

·多個(gè)樣品座:提供4個(gè)樣品座,每個(gè)樣品座直徑32mm,可裝載多達(dá)6個(gè)小樣品座。

·樣品室?guī)缀慰勺儯?/strong>樣品室?guī)缀斡糜谡{(diào)節(jié)鍍膜的速率(1.0nm/s 0.002nm/s

·寬范圍的操作壓力:獨(dú)立的功率和壓力調(diào)節(jié),氬氣的壓力大小范圍為0.2 - 0.005 mbar。

·緊湊、現(xiàn)代的桌上型設(shè)計(jì)

·操作容易

二、技術(shù)參數(shù)

濺射系統(tǒng)

鍍膜頭

低電壓平面磁控管

靶材更換快速

環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩

靶材調(diào)節(jié)遮擋

靶材

Cr, Pt/Pd (標(biāo)配)

Ta, Au, Au/Pd, Pt, W, Ir , Ti(選配)

鍍膜控制

微處理器控制

安全互鎖

電流控制與真空度無(wú)關(guān)

數(shù)字化可選電流(20,40,60 80mA

樣品室大小

直徑150mm

高度165 - 250mm

樣品臺(tái)

非重復(fù)的旋轉(zhuǎn)、行星式轉(zhuǎn)動(dòng),并可手動(dòng)傾斜0-90°轉(zhuǎn)動(dòng)速度可調(diào)

晶體頭

4個(gè)樣品臺(tái)

模擬計(jì)量

真空 Atm - .001mb電流 0-100mA

控制方法

自動(dòng)氣體凈化和泄氣功能

自動(dòng)處理排序

帶有“暫?!惫δ艿臄?shù)字計(jì)時(shí)器

自動(dòng)放氣

膜厚控制

MTM-20高分辨膜厚控制儀

真空系統(tǒng)

結(jié)構(gòu)

分子渦輪牽引泵和旋葉泵組合,

代替旋葉泵的無(wú)油渦旋式真空泵(選配)

抽真空速度

0.1mb 300 l/min

抽真空時(shí)間

1 mbar 1 x 10-3mbar

極限真空

1 x 10-5mbar

桌上型系統(tǒng)

旋葉泵置于抗震臺(tái)上,全金屬真空耦合系統(tǒng)

膜厚測(cè)控儀

MTM-20

基于微處理器,4位數(shù)字顯示,復(fù)位按鈕, 6MHz晶體(具有壽命檢查功能),5/s的更新速率

膜厚范圍

0.0 - 999.9nm

分辨率

優(yōu)于 0.1nm

密度范圍

0.50 - 30.00gm/cm3

修正系數(shù)范圍

0.25 - 8.00

鍍膜終止范圍

膜厚0 - 999.9nm

系統(tǒng)要求

電氣

100-120 200-240VAC, 50/60Hz

功率

550VA(**)

氬氣

*小純度99.995%調(diào)節(jié)壓力 5 - 6 psi (0.4 bar)

6.0mm ID連接軟管

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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208HR高分辨率鍍膜儀(離子濺射儀)信息由廣州科適特科學(xué)儀器有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于208HR高分辨率鍍膜儀(離子濺射儀)報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息,歡迎來(lái)電或留言咨詢。
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