納米尺度樣品的特征。

它可以用作獨立的顯微鏡

或與電子束結合，這是它的**優(yōu)點。 LiteScope™通常在高真空下操作，但可根據(jù)要求適用于超高真空。

LiteScope™連接到SEM / FIB顯微鏡的樣品臺，從而可以根據(jù)用戶的喜好進行操作。 LiteScope™能夠測量

在傾斜位置，例如用于與FIB技術同時使用。在這種情況下，用戶將會欣賞對接選項，從而可以將整個SPM探針縮回并隱藏在LiteScope™的主體中。

機械設計在剛性和適當?shù)墓舱耦l率方面尊重所有基本結構要求。結果是高度穩(wěn)定的機架，機械振動水平極低，可產生極其可靠的結果。

設計亮點

• 薄型和小尺寸可集成在SEM / FIB儀器中

• 易于集成的程序 - 安裝在SEM / FIB操縱器上

• 通用探頭支架適用于多種SPM方法和簡單的“即插即用”組裝

• 樣品傾斜高達60°

• 優(yōu)化的機械設計，具有極低的振動水平（剛性和適當?shù)墓舱耦l率），集成前置放大器（盡可能消除信號失真/噪聲）

LiteScope™數(shù)據(jù)

獨特的CPEM技術及其相關成像技術可應用于要求苛刻的領域，使用常規(guī)SEM進行成像可能會因與化學對比度相關的表面污染而干擾表面形貌而提供誤導信息。CPEM是實時準確分析和解釋圖像的理想解決方案。

材料科學和納米技術領域的基礎研究需要使用不同的分析方法對表面和納米結構進行詳細和全面的分析。這是基于充分理解原則的需要

納米級范圍。 LiteScope™是這些科學應用的理想工具。

對于諸如FIB和GIS之類的技術而言，其直接優(yōu)勢是顯而易見的，其中結構直接在SEM中形成。新建結構的3D分析工具至關重要。此外，配備CPEM和其他成像模式的LiteScope™可以對制備的結構和納米器件進行復雜的分析。