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FEI Quanta 系列包括六款可變壓力和環(huán)境掃描電子顯微鏡 (ESEM)。所有這些產(chǎn)品均可滿足工業(yè)工藝控制實(shí)驗(yàn)室、材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)室和生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室的多種樣本和成像要求。
Quanta 系列掃描電子顯微鏡屬于多功能、高性能儀器，并具有高真空、低真空和 ESEM 三種模式，能夠處理的樣本類型之多堪稱 SEM 系統(tǒng)之*。所有 Quanta SEM 系統(tǒng)均可配備分析系統(tǒng)，比如能量色散譜儀、X 射線波長(zhǎng)色散譜儀以及電子背散射衍射系統(tǒng)。此外，場(chǎng)發(fā)射電子槍 (FEG) 系統(tǒng)含有一個(gè)用于明場(chǎng)和暗場(chǎng)樣本成像的 S/TEM 檢測(cè)器。SEM 系統(tǒng)中的另一個(gè)可變配置是電動(dòng)工作臺(tái)的尺寸（分 50mm、100mm 和 150mm 三種）以及電動(dòng) Z 軸行程的大?。ǚ謩e為 25mm、60mm 和 65mm）。Quanta 650 和 650 FEG 都設(shè)計(jì)了大標(biāo)本室，能夠分析和瀏覽大型標(biāo)本
隨著 Quanta 50 系列的推出，現(xiàn)在的 Quanta SEM 系列更為靈活。對(duì)于材料科學(xué)來(lái)說(shuō)，這些全新儀器可滿足對(duì)眾多類型材料進(jìn)行研究以及表征結(jié)構(gòu)和成分的需求。FEI Quanta™ 50 系列十分靈活，功能多樣，能夠應(yīng)對(duì)當(dāng)今眾多研究領(lǐng)域的挑戰(zhàn)。觀測(cè)任意樣本并獲得所有數(shù)據(jù) - 表面和成分圖像可與配件結(jié)合起來(lái)，確定材料屬性和元素成分。
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