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氣體質量流量控制器(流量計)(Mass gas flow controller(meter))縮寫為MFC(MFM))是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。
S49 33/MT質量流量控制器(流量計)特點:
*閥體采用不銹鋼(316L)結構,與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等。線路板、閥體、彈簧片、精密電阻和resistor等為重要零部件,均執(zhí)行嚴格的入廠標準。
*適用于各種腐蝕性氣體
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準 *高精度 *重復性好 *響應速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠 *低壓降
*工作壓力范圍寬(可以在高壓或真空條件下工作)。
*操作使用方便,可任意位置安裝
*便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。
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