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硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200
硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200

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品牌

產(chǎn)地

上海

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上海屹持光電技術(shù)有限公司

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硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200

硅片厚度測(cè)量?jī)x(SIT-200)由精確可調(diào)激光光源,聚焦傳感器,光學(xué)接收器組成。波長(zhǎng)掃描光聚焦照射到目標(biāo)上,由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案,經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。

產(chǎn)品特點(diǎn):

l 全光學(xué),非接觸硅片厚度測(cè)試

l 高動(dòng)態(tài)范圍測(cè)量粗糙表面

l 濕法刻蝕過程中實(shí)時(shí)測(cè)量

高靈敏度高精度快速測(cè)量遠(yuǎn)程控制

結(jié)構(gòu)示意圖

SIT-200

產(chǎn)品參數(shù):

測(cè)量目標(biāo)

硅片

測(cè)量厚度

10-500μm

光源

1515-1585nm掃描

功率

0.6mw,Class1

指示光源

紅光,Class1M

測(cè)量時(shí)間

20ms

重復(fù)性

0.1μm

輸出監(jiān)控

干擾信號(hào)(電學(xué))

PC接口

網(wǎng)口

供電

100-240V,50/60Hz

尺寸

364 x 147 x 391mm

重量

9kg

創(chuàng)新點(diǎn)

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10分

易用性

10分

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