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硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200
硅片厚度測(cè)量?jī)x（SIT-200）由精確可調(diào)激光光源，聚焦傳感器，光學(xué)接收器組成。波長(zhǎng)掃描光聚焦照射到目標(biāo)上，由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 全光學(xué)，非接觸硅片厚度測(cè)試
l 高動(dòng)態(tài)范圍測(cè)量粗糙表面
l 濕法刻蝕過程中實(shí)時(shí)測(cè)量
高靈敏度高精度快速測(cè)量遠(yuǎn)程控制
結(jié)構(gòu)示意圖
SIT-200
產(chǎn)品參數(shù)：
測(cè)量目標(biāo) | 硅片 |
測(cè)量厚度 | 10-500μm |
光源 | 1515-1585nm掃描 |
功率 | 0.6mw，Class1 |
指示光源 | 紅光，Class1M |
測(cè)量時(shí)間 | 20ms |
重復(fù)性 | 0.1μm |
輸出監(jiān)控 | 干擾信號(hào)（電學(xué)） |
PC接口 | 網(wǎng)口 |
供電 | 100-240V，50/60Hz |
尺寸 | 364 x 147 x 391mm |
重量 | 9kg |
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