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法國phasicssid4系列波前傳感器
-----四波橫向剪切干涉波前傳感器
產(chǎn)品介紹:法國phasics 的波前分析儀(上海屹持光電代理),基于其波前測量**——四波橫向剪切干涉技術(shù)(4-wave lateral shearing interferometry)。作為夏克-哈特曼技術(shù)的改進(jìn)型,這種獨特的**技術(shù)將超高分辨率和超大動態(tài)范圍有效結(jié)合在一起。任何應(yīng)用下,其都能實現(xiàn)全面、簡便、快速的測量。
主要應(yīng)用領(lǐng)域:
1. 激光光束參數(shù)測量:相位(2d/3d),m2,束腰位置,直徑,澤尼克/勒讓德系數(shù)
2. 自適應(yīng)光學(xué):焦斑優(yōu)化,光束整形
3. 元器件表面質(zhì)量分析:表面質(zhì)量(rms,ptv,wfe),曲率半徑
4. 光學(xué)系統(tǒng)質(zhì)量分析:mtf, psf, efl, 澤尼克系數(shù), 光學(xué)鏡頭/系統(tǒng)質(zhì)量控制
5. 熱成像分析,等離子體特征分析
6. 生物應(yīng)用:蛋白質(zhì)等組織定量相位成像
產(chǎn)品特點:
1. 高分辨率:*多采樣點可達(dá)120000個
2. 可直接測量:消色差設(shè)計,測量前無需再次對波長校準(zhǔn)
3. 消色差:干涉和衍射對波長相消
4. 高動態(tài)范圍:高達(dá)500μm
5. 防震設(shè)計,內(nèi)部光柵橫向剪切干涉,對實驗條件要求簡單,無需隔震平臺也可測試
型號參數(shù):
型號 | sid4 | sid4-hr | sid4-dwir | sid4-swir | sid4-nir | sid4-uv |
孔徑mm | 3.6 × 4.8 | 8.9 × 11.8 | 13.44 × 10.08 | 9.6 × 7.68 | 3.6 × 4.8 | 7.4 × 7.4 |
分辨率μm | 29.6 | 29.6 | 68 | 120 μ | 29.6 | 29.6 |
采樣點 | 160 × 120 | 400 × 300 | 160 × 120 | 80 × 64 | 160 × 120 | 250 × 250 |
波長 | 400 -1100 nm | 400 - 1100 nm | 3 ~ 5 μm , 8 ~ 14 μm | 0.9 ~ 1.7 μm | 1.5 ~ 1.6 μm | 250 ~ 450 nm |
動態(tài)范圍 | > 100 μm | > 500 μm | n/a | ~ 100 μm | > 100 μm | > 200 μm |
精度 | 10 nm rms | 15 nm rms | 75 nm rms | 10 nm rms | > 15 nm rms | 20 nm rms |
靈敏度 | < 2 nm rms | < 2 nm rms | < 25 nm rms | <3> | < 11 nm rms | 2 nm rms |
采樣頻率 | > 100 fps | > 10 fps | > 50 fps | 25-60 fps | 60 fps | 30 fps |
處理頻率 | 10 hz | 3 hz | 20 hz | > 10 hz | 10 hz | > 2 hz |
尺寸mm | 54 × 46 × 75.3 | 54 × 46 × 79 | 85 × 116 × 179 | 50 × 50 × 90 | 44 × 33 × 57.5 | 53 × 63 × 83 |
重量 | 250 g | 250 g | 1.6 kg | 300 g | 250 g | 450 g |
四波橫向剪切干涉技術(shù)背景介紹
phasics四波橫向剪切干涉(上海屹持光電代理):當(dāng)待測波前經(jīng)過波前分析儀時,光波通過特制光柵(圖1)后得到一個與其自身有一定橫向位移的復(fù)制光束,此復(fù)制光波與待測光波發(fā)生干涉,形成橫向剪切干涉,兩者重合部位出現(xiàn)干涉條紋(圖2)。被測波前可能為平面波或者匯聚波,對于平面橫向剪切干涉,為被測波前在其自身平面內(nèi)發(fā)生微小位移發(fā)生微小位移產(chǎn)生一個復(fù)制光波;而對于匯聚橫向剪切干涉,復(fù)制光波由匯聚波繞其曲率中心轉(zhuǎn)動產(chǎn)生。干涉條紋中包含有原始波前的差分信息,通過特定的分析和定量計算梳理(反傅里葉變換)可以再現(xiàn)原始波前(圖3)。
圖1.特制光柵 圖2.幾何光學(xué)描述波前畸變
圖3. 波前相位重構(gòu)示意圖
技術(shù)優(yōu)勢
1. 高采樣點:
高達(dá)400*300個采樣點,具備強大的局部畸變測試能力,降低測量不準(zhǔn)確性和噪聲;同時得到高精度強度分布圖。
2. 消色差:
干涉和衍射相結(jié)合抵消了波長因子,干涉條紋間距與光柵間距完全相等。適應(yīng)于不多波長光學(xué)測量且不需要重復(fù)校準(zhǔn),
3. 可直接測量高動態(tài)范圍波前:
可見光波段可達(dá)500μm的高動態(tài)范圍;可測試離焦量,大相差,非球面和復(fù)曲面等測。
圖4.測試對比圖 圖5. 消色差 圖6.高動態(tài)范圍測量
應(yīng)用方向:
1.激光光束測量
可以實時測量強度相位(2d/3d)信息,zernike/legendre系數(shù),遠(yuǎn)場,光束參數(shù),光束形狀m2等。
2光學(xué)測量
phasics波前傳感器可對光學(xué)系統(tǒng)和元器件進(jìn)行透射和反射式測量,專業(yè)kaleo軟件可分析psf,mtf等
光學(xué)測量 透射式和反射式測量
3.光學(xué)整形:
利用phasics波前傳感器檢測到精確的波前畸變信息,反饋給波前校正系統(tǒng)以補償待測波前的畸變,從而得到目標(biāo)波前相位分布和光束形狀。右圖上為把一束rms=1.48λ的會聚光矯正為rms=0.02λ的準(zhǔn)平面波;右圖下為把分散焦點光斑矯正為準(zhǔn)高斯光束。高頻率大氣湍流自適應(yīng)需要配合高頻波前分析儀。
4.光學(xué)表面測量:
phasics的sid4軟件可以直接測量ptv, rms, wfe和曲率半徑等,可直接進(jìn)行自我校準(zhǔn),兩次測量相位作差等。非常方便應(yīng)用于平面球面等形貌測量。部分測量光路如右圖所示
5.等離子體測量
法國phasics公司sid4系列等離子體分析儀(plasma diagnosis)是一款便攜式、高靈敏度、高精度的等離子體分析儀器。該產(chǎn)品可實時檢測激光產(chǎn)生的等離子體的電子密度、模式及傳播方式。監(jiān)測等離子體的產(chǎn)生、擴散過程,以及等離子體的品質(zhì)因數(shù)。更好地為客戶在噴嘴設(shè)計、激光脈沖的照度、氣壓、均勻性等方面提供優(yōu)化的數(shù)據(jù)支持。
附:夏克哈特曼和四波橫向剪切干涉波前分析儀對比表
phasics剪切干涉 | 夏克哈特曼 | 區(qū)別 | |
技術(shù) | 四波側(cè)向剪切干涉 | 夏克-哈特曼 | phasics sid4是對夏克-哈特曼技術(shù)的改進(jìn),投放市場時,已經(jīng)申請技術(shù)**,全球售出超過500個探測器。 |
重建方式 | 傅里葉變換 | 分區(qū)方法(直接數(shù)值積分)或模式法(多項式擬合) | 夏克-哈特曼波前探測器,以微透鏡單元區(qū)域的平均值來近似。對于大孔徑的透鏡單元,可能會增加信號誤差,在某些情況,產(chǎn)生嚴(yán)重影響。在分區(qū)方法中,邊界條件很重要。 |
光強度 | 由于采用傅里葉變換方法,測量對強度變化不敏感 | 由于需要測量焦點位置,測量對強度變化靈敏 | 關(guān)于測量精度,波前測量不依賴于光強度水平 |
使用、對準(zhǔn)方便 | 界面直觀,利用針孔進(jìn)行對準(zhǔn) | 安裝困難,需要精密的調(diào)節(jié)臺 | sid4 產(chǎn)品使用方便 |
取樣(測量點) | sid4-hr達(dá)300*400測量點 | 128*128測量點(微透鏡陣列) | sid4-hr具有很高的分辨率。這使得測量結(jié)果更可靠,也更穩(wěn)定 |
數(shù)值孔徑 | sid4 hr na:0.5 | 0.1 | sid4-hr動態(tài)范圍更高 |
空間分辨率 | 29.6μm | >100μm | sid4-hr空間分辨率更好 |
靈敏度 | 2nmrms | 約λ/100 | sid4-hr具有更好的靈敏度 |
暫無數(shù)據(jù)!