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CIF勻膠機(jī)
CIF勻膠機(jī)

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CIF勻膠機(jī)

CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

產(chǎn)品特點(diǎn)

u 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī),數(shù)字式增速信號(hào)反饋,速勻準(zhǔn)確,壽命長(zhǎng),保證勻膠均勻。

u 5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置),可選配10個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段,*多100個(gè)階段。

u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,*限度的保證旋涂均勻,可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

u 多重安全保護(hù)

電磁安全開(kāi)關(guān),蓋子打開(kāi)卡盤停止,保證安全;

蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開(kāi)傷人;

雙重安全上蓋聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。

u 一機(jī)兩用,根據(jù)不同樣品可選真空盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。

u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯NPP-H)旋涂托盤,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器苛刻條件下能正常運(yùn)行。

u 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度

勻膠時(shí)間

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000S

圓片Φ5-Φ100,方片100x100

310x260x250

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產(chǎn)品質(zhì)量

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售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

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