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溫控夾盤(pán)系統(tǒng)(圓形)美國(guó)Instec
溫控夾盤(pán)系統(tǒng)(圓形)美國(guó)Instec

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

品牌

產(chǎn)地

美國(guó)

樣本

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上海恒商精密儀器有限公司

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Instec

來(lái)自液晶先驅(qū)院校美國(guó)科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置與液晶檢測(cè)設(shè)備

功能特點(diǎn)

可編程精密控溫??瑟?dú)立控制,也可從上位機(jī)軟件控制

超低的盤(pán)面溫度梯度

獨(dú)立的上盤(pán)面真空吸氣槽,用于吸附固定多種尺寸晶圓

尺寸超薄,可集成進(jìn)探針臺(tái)

適用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圓

軟件可拓展性強(qiáng),可提供LabView等語(yǔ)言的SDK

#升級(jí)項(xiàng)# 性能可升級(jí),詳見(jiàn) 配置列表

#選擇項(xiàng)#臺(tái)面為電接地 / 電懸空

#可選項(xiàng)#臺(tái)面開(kāi)設(shè)用于起模頂桿的孔洞,可快速卸下樣品

#可選項(xiàng)# 下盤(pán)面的真空吸氣槽,用于將卡盤(pán)固定在實(shí)驗(yàn)平臺(tái)上

可做改動(dòng)或定制,詳詢上海恒商

技術(shù)參數(shù)

數(shù)

溫度分辨率

0.001

溫度穩(wěn)定性

±0.05(at 100)可提升穩(wěn)定性

溫度均勻度

±0.1/cm 可升級(jí)均勻性

*小控溫速度

±0.1/小時(shí)

溫度傳感器

100Ω鉑質(zhì)RTD

溫控方式

開(kāi)關(guān)式PID 可升級(jí)為LVDCPID

*其他技術(shù)參數(shù)請(qǐng)參考 常用型號(hào)選型表

配置列表

標(biāo)

準(zhǔn)

溫控晶圓夾盤(pán)(圓形)

1

mK2000溫度控制器 軟件免費(fèi),控制線有多種接口供選

級(jí)

BNC同軸接口 升級(jí)為Triaxial三同軸接口

三同軸的漏電流和電噪聲更小,可測(cè)皮安級(jí)微弱信號(hào)

液氮制冷系統(tǒng) 包含液氮泵與液氮罐,使樣品降至負(fù)溫

外殼水冷配件 用常溫水或冰水循環(huán)防止外殼過(guò)熱

固定支架 把夾盤(pán)固定在使用平臺(tái)上,防止滑動(dòng)

溫控聯(lián)動(dòng)顯微鏡相機(jī) 溫度-圖像聯(lián)動(dòng)工作,附軟件

線性可變直流電源(LVDC) 裝在溫控器里,抑制電噪音

*注:產(chǎn)品有多種配置變化,詳詢上海恒商

常用型號(hào)選型表

型號(hào)(字母T表示三軸接口)

盤(pán)面尺寸

適用樣品尺寸

溫度范圍

**制熱速度

HCC206R/HCC206RT

150 mm

12 mm 152 mm

-100℃ 200℃

+60℃/分鐘(at 100)

HCC306R/HCC306RT

-100℃ 310℃

HCC208R/HCC208RT

200 mm

40 mm 203 mm

-80℃ 200℃

+50℃/分鐘(at 100)

HCC308R/HCC308RT

-80℃ ~ 310℃

HCC20CR/HCC20CRT

300 mm

95 mm 304 mm

-60℃ 200℃

+30℃/分鐘(at 100)

HCC30CR/HCC30CRT

-60℃ 310℃

*注:液氮泵型號(hào)不同,制冷表現(xiàn)也會(huì)有差異,請(qǐng)悉知。

夾盤(pán)上下表面的獨(dú)立真空吸氣槽(可選);支持Swagelok接口(可選);支持頂桿孔(可選);制冷需液氮

欲咨詢產(chǎn)品請(qǐng)?jiān)L問(wèn)本公司官網(wǎng)聯(lián)系我們

本公司為美國(guó)Instec中國(guó)區(qū)總代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中國(guó)區(qū)**代理,不經(jīng)過(guò)中間商直接與原廠接觸,能提供**惠的價(jià)格。

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10分

易用性

10分

性價(jià)比

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