Optical Coating System/光學(xué)涂覆系統(tǒng)

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供***的技術(shù)，系統(tǒng)的設(shè)計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用，同時具備各自的自動上/下載片功能。在一個腔體中實現(xiàn)原子級清洗和光學(xué)樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆，整個過程不間斷真空。

產(chǎn)品應(yīng)用：

• 光學(xué)涂層

• 濺射

• IBAD離子束輔助沉積

• 離子束刻蝕清洗

• 離子束輔助反應(yīng)刻蝕

• 紅外涂層

• 表面處理

產(chǎn)品特點：

• RF射頻偏壓樣品臺

• 膜厚監(jiān)測儀

• 極限真空5x10-7Torr

• 高精度及高重復(fù)性

• 高品質(zhì)膜層

• 原子級的潔凈表面

• 原子級清洗和拋光

• 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機全自動控制

• 自動上下載片

• 兩個腔體之間自動傳送

• 菜單驅(qū)動，4級密碼訪問保護

• 完整的安全聯(lián)鎖

• 占地面積46”D x 44”W

選配項：

• 向下/向上濺射

• 共濺射

• DC，RF以及脈沖電源

• 離子束輔助沉積

• 電子束源

• 等離子源