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高精密勻膠機(jī)旋涂儀SC100
高精密勻膠機(jī)旋涂儀SC100

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安賽斯(中國)有限公司

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勻膠機(jī),旋涂儀,甩膠機(jī),EZ8,安賽斯,美國進(jìn)口

根據(jù)可旋涂尺寸大小,有EZ4,EZ6,EZ8,EZ12等多個(gè)產(chǎn)品系列,產(chǎn)品詳情請登錄安賽斯(中國)有限公司官網(wǎng)查詢。

產(chǎn)品介紹:

名稱:高精密勻膠機(jī)

型號:SC100-SE

產(chǎn)地:

應(yīng)用:在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

產(chǎn)品描述:

Smart Coater®精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。  不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序,使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中**的**達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和極高的可重復(fù)性。

性能指標(biāo):

·主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)

·旋涂程序:*多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可精確到0.1

·轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-10,000rpm(更高速可選)

·旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)

·馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差< ±1rpm

·轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm

·工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec

·支持wafer尺寸25px-200mm8”圓晶)

·旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn):

·**的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。

·7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

·Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

·標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

·采用工業(yè)級別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

·機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,永不生銹,便于清洗。

·排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺之底部以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性

·透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸:

     433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)

     306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)

勻膠機(jī),旋涂儀,甩膠機(jī),EZ8,安賽斯,美國進(jìn)口

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