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AF 200微型自動聚焦激光測量系統(tǒng)
德國BMT公司生產(chǎn)的AF200自聚焦測頭系統(tǒng),可替代現(xiàn)有傳統(tǒng)的位移和粗糙度測頭。實現(xiàn)快速非接觸測量表面形貌,粗糙度以及精密位移。
激光測量光束借助于物鏡聚焦于物體表面,物鏡的位置連續(xù)可調(diào),激光束的焦點總是與物體表面重合,可同時測量表面輪廓和局域反射光。
AFS傳感器具有表面復現(xiàn)度高的特點,傳感器可配備微型照相機適配器,以便能夠直接通過物鏡對表面片段直接觀察,使激光光束精密定位。特別開發(fā)、高度集成的BMT-IC技術(shù),傳感器熱漂移極低。高倍率孔徑物鏡,保證儀器無論在垂直方向還是在水平方向均能提供較高的分辨率。主要用途:
◆具有完整表面復現(xiàn)的表面粗糙度和輪廓測量
◆精密位移測量
◆微機械零件的尺寸測量
◆金相測量
◆振動測量
◆厚度測量
◆微小區(qū)域內(nèi)直線度、平面度、園弧半徑的測量(如轉(zhuǎn)位刀片刃口、金剛石刀具)
主要特點:
◆非接觸式表面輪廓測量、反射率的測量、垂直和橫向的尺寸測量
◆ BMT-IC**技術(shù)傳感器
◆微型化的傳感器
◆分辨率1nm
◆測量范圍2000μm
◆光斑直徑< 1μm
◆適用于制造業(yè)所有粗糙度測量
◆連續(xù)變焦
主要優(yōu)點:
◆在高保真輪廓復現(xiàn)下對3D結(jié)構(gòu)進行快速的非接觸式測量
◆測量結(jié)果與表面結(jié)構(gòu)無關(guān)
◆數(shù)據(jù)采集和評估可歸并到已有的軟件中
◆具有可組裝性,可組裝到已有的系統(tǒng)中
技術(shù)數(shù)據(jù):
型號 | AFS 1 傳感器 | AFS 2傳感器 | TFS傳感器 |
測量范圍nm | ±500 / ±50 | ±1000 / ±100 | ±500 / ±50 |
垂直分辨率nm | 1 | 1 | |
工作距離mm | 2 | 2 | 13 |
激光班直徑(約)μm | 0.5 | 0.5 | 1 |
**測量頻率* kHz | 20 | 20 | 20 |
**視場傾角** ° | 20 | 20 | 15 |
激光波長nm | 635 | 635 | 635 |
激光等級 | 1 | 1 | 1 |
外形尺寸mm | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 |
重量(約)g | 100 | 100 | 100 |
暫無數(shù)據(jù)!