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機(jī)械控制系統(tǒng)

1、工具軸承轉(zhuǎn)速：300－20000rpm，可調(diào)。

*工具前進(jìn)步徑：100μm，10μm，1μm及0.5μm可選。

顯示步徑值。并具有快進(jìn)和撤回功能。

* 工具左右移動(dòng)范圍：75mm（手動(dòng)模式），24mm（自動(dòng)模式），12mm（馬達(dá)驅(qū)動(dòng)）

工具左右移動(dòng)控制參數(shù)：左右移動(dòng)速度0.025－0.5mm/s；

使用空心鉆時(shí)移動(dòng)速度設(shè)置為0.

*自動(dòng)磨拋功能：具有時(shí)間倒jishi自動(dòng)控制和進(jìn)程倒計(jì)數(shù)自動(dòng)控制。

具有自動(dòng)應(yīng)力反饋功能，確保樣品不被破壞。

可設(shè)定工具左右移動(dòng)窗口，提高效率。

* 冷卻液流速控制：自動(dòng)蠕動(dòng)泵控制，流速范圍2－20ml/min。

2. 觀察系統(tǒng)

*體視鏡放大倍數(shù)：配備品牌高端體視顯微鏡，放大倍數(shù)9.6x-77x

*照明系統(tǒng)：環(huán)形LED照明，4分割，可選不同的照明角度和亮度。

帶有坐標(biāo)尺：12mm，120分格

* 帶有可移動(dòng)物鏡：移動(dòng)范圍±5μm

* 對(duì)樣品觀察角度：0°－90°

3. 樣品臂

*樣品臂傾斜角度：0°－60°

*樣品角度可調(diào)整：可選配樣品角度調(diào)整適配器，角度調(diào)整范圍X和Y方向各±5°

4. 可實(shí)現(xiàn)功能

*可為光學(xué)顯微鏡樣品做定點(diǎn)切割、研磨、拋光等制備。