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A4 series

節(jié)能干燥多級(jí)羅茨泵，適用于所有半導(dǎo)體和涂層應(yīng)用。

新一代苛刻的工藝流程泵

普發(fā)真空引入了新的A4系列。半導(dǎo)體生產(chǎn)中苛刻的工作流程總是給真空泵帶來(lái)新的挑戰(zhàn)?；谝炎C明和節(jié)能的多階段根系技術(shù)，A4系列提供了一系列的干泵解決方案，不同的泵送速度從100到2300 m3/h。與以往的工藝泵相比，為了滿(mǎn)足20納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)和以下的**要求，腐蝕和副產(chǎn)物的冷凝性能得到了顯著的提高。在延長(zhǎng)的工藝壽命與低能耗相關(guān)聯(lián)的情況下，A4系列泵是在市場(chǎng)中成本*低的。

為多個(gè)應(yīng)用程序提供完整的解決方案

我們的新A4系列包括兩款產(chǎn)品線(xiàn)，它們完全與前系列產(chǎn)品的泵完全兼容。我們提供了三種用于非關(guān)鍵應(yīng)用程序的泵模型和十種不同的模型供您選擇，用于在關(guān)鍵應(yīng)用程序中進(jìn)行*嚴(yán)酷的處理。

延長(zhǎng)工作溫度范圍

泵配備有擴(kuò)展溫度管理裝置，其覆蓋低至高的操作溫度，以防止泵內(nèi)的副產(chǎn)物沉積或破裂。與高溫精密軸承相關(guān)，提高了工藝的可靠性。

高耐蝕性

使用耐腐蝕材料，我們的A4X系列泵的壽命大幅度地提高了——在某些工藝過(guò)程中高達(dá)2倍。這使得這些干泵成為了化學(xué)汽相淀積和腐蝕處理的**選擇。

CVD應(yīng)用***的解決方案

由于采用了多級(jí)羅茨泵技術(shù)和高效率發(fā)動(dòng)機(jī)，在工藝操作中，A4系列的功耗是其同類(lèi)產(chǎn)品中*低的一個(gè)。結(jié)合了閑置模式的能力和用戶(hù)友好的轉(zhuǎn)速調(diào)整，這些干泵的使用支持**的降低運(yùn)營(yíng)成本。

智能

A4系列配備了新的精密監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，包括新的功能，以改善故障的發(fā)生，并防止在過(guò)程操作過(guò)程中產(chǎn)生晶片碎片。

維修費(fèi)用低

通過(guò)改進(jìn)粒子耐受性，腐蝕和冷凝阻力，可以延長(zhǎng)維修間隔和泵的壽命，這意味著額外的操作成本降低了。不需要現(xiàn)場(chǎng)例行維護(hù)。

客戶(hù)受益

■ 高能源效率得益于多階段的技術(shù)，高效的馬達(dá)和有限的電加熱器

■ 廣泛的操作溫度范圍保護(hù)泵不受前體破裂或凝縮沉積作用的阻礙

■ 延長(zhǎng)壽命的耐腐蝕材料

■ 高平均無(wú)故障時(shí)間和低擁有成本

■ 高粒子寬容增加正常運(yùn)行時(shí)間的工具

■ 擴(kuò)展的監(jiān)視功能可以更好地控制泵的狀況

■ Semi S2和UL兼容

尺寸

A 124 H A 204 H/X

A 604 H A 804 H/X

A 1204 H A 1504 H/X A 1804 H/X A 2404 H/X

抽速對(duì)比

ADH 系列

用于**工藝應(yīng)用的新型高性能干式泵

新型高性能干式泵

ADH 系列專(zhuān)門(mén)為太陽(yáng)能、半導(dǎo)體和 LED 市場(chǎng)的苛刻工藝應(yīng)用而開(kāi)發(fā)，為N2 和 H2 提供 600 至 4，500 m3/h 的高性能抽速。

半導(dǎo)體： H2 高抽速

ADH系列產(chǎn)品性能為您的工藝帶來(lái)以下優(yōu)勢(shì)：

• ALD工藝處理量：小分子氣體的高抽速效率可以允許更快的在工藝步驟之間排空腔室。

• 外延和EUV：高抽速和大流量公差符合*苛刻的工藝規(guī)范。

太陽(yáng)能和LED：氫氣準(zhǔn)備就緒

ADH系列為太陽(yáng)能（a-Si 和 μ-Si PECVD）以及LED（MOCVDGaN，AlGaAs，AlGalnP...）提供**的氫氣抽送效率。

無(wú)中間維護(hù)

所有軸承均經(jīng)過(guò)了油潤(rùn)滑，不需要現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)。通過(guò)改善粉末耐受性和冷凝管理，實(shí)現(xiàn)了較長(zhǎng)的維護(hù)間隔以及泵壽命延長(zhǎng)，這意味著降低了運(yùn)行成本。

對(duì)工藝副產(chǎn)物的高耐受性

泵配備雙重溫度控制的水冷回路和集成的熱氮吹掃，以防止粉末積聚或冷凝。強(qiáng)大的電機(jī)可以處理大量粉末，保證良好的重啟能力。此外，精心挑選的材料可以承受腐蝕性化學(xué)清洗劑。ADH系列采用全新的監(jiān)控系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí)，其功能有助于提高工藝可靠性。

用于低COO的高效率

在泵不用于該工藝時(shí)，智能模式可通過(guò)降低功率和氮消耗降低運(yùn)行成本。得益于優(yōu)化的設(shè)計(jì)，泵在同級(jí)抽送性能水平中可提供市場(chǎng)上**的功耗。優(yōu)化的設(shè)計(jì)還可以降低發(fā)熱量，從而降低冷卻水流量。

堅(jiān)固、安全

ADH系列的設(shè)計(jì)和材料能夠承受極大的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)部壓力應(yīng)力。這確保在用于運(yùn)行爆炸性氣體（如氫氣和硅烷）的應(yīng)用時(shí)具有**水平的安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體 平板顯示器 太陽(yáng)能電池 LED

客戶(hù)受益

■ 高達(dá)4，500 m3/h 的抽速，在N2 和 H2 中具有較高的性能

使用50和60Hz電源具有相同的性能

■ 得益于潤(rùn)滑的軸承以及對(duì)工藝副產(chǎn)品的高耐受性，具有較長(zhǎng)的維護(hù)間隔

■ 低功率和低耗水量實(shí)現(xiàn)低COO

■ 由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)應(yīng)力，從而增加了安全性

尺寸AD 600 H

AD 3060 H

AD 4560 H

抽速對(duì)比

AD 4560 H / AD 3060 H / AD 600 H 使用N₂

AD 4560 H 采用不同的羅茨泵轉(zhuǎn)速 使用N₂