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操作簡單，測量速度可以快到3秒。
視野范圍內(nèi)可一次測量，測量范圍廣。
更直觀的全面讀取數(shù)據(jù)，無遺漏數(shù)據(jù)點(diǎn)。
具有多種分析功能和測量結(jié)果的比較。
維護(hù)簡單，不含旋轉(zhuǎn)光學(xué)濾片的機(jī)構(gòu)。
高達(dá)2056x2464像素的偏振相機(jī)。
SIC
藍(lán)寶石
| 項(xiàng)次 | 項(xiàng)目 | 具體參數(shù) |
| 1 | 輸出項(xiàng)目 | 相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應(yīng)力換算（選配）【MPa】 |
| 2 | 測量波長 | 520nm |
| 3 | 雙折射測量范圍 | 0-130nm |
| 4 | 測量*小分辨率 | 0.001nm |
| 5 | 測量重復(fù)精度 | <1nm（西格瑪） |
| 6 | 視野尺寸 | 40x48mm到240x320mm（標(biāo)準(zhǔn)） |
| 7 | 選配鏡頭視野 | 不適用 |
| 8 | 選配功能 | 實(shí)時解析軟件，鏡片解析軟件，數(shù)據(jù)處理軟件，實(shí)現(xiàn)外部控制 |
暫無數(shù)據(jù)！
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