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EMS150 T離子濺射鍍膜儀的機(jī)殼是整體成型的，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固耐用，配有氣冷的70L/S的渦輪分子泵，自動進(jìn)氣控制保證了濺射期間**的真空水平，真空腔室直徑為165mm并帶有防爆裝置。EMS150T具有“真空閉鎖”功能，可在設(shè)備不工作時(shí)維持腔室的真空度，從而保證高真空的性能。
EMS150 T離子濺射鍍膜儀系列全自動高真空離子濺射/熱蒸發(fā)一體化鍍膜儀給用戶以類似傻瓜相機(jī)的簡單操作、**的鍍膜質(zhì)量和對熟手/新手都很理想的用戶界面，讓用戶真正領(lǐng)略****的鍍膜品質(zhì)！
EMS150 T離子濺射鍍膜儀根據(jù)不同的應(yīng)用方向，EMS150T細(xì)分為三個(gè)型號：
EMS150TS：高分辨率濺射鍍膜儀High Resolution Turbomolecular Pumped Sputter Coater，可濺射易氧化和不易氧化金屬，可選各種濺射靶材，包括場發(fā)射電鏡常用的銥和鉻。
EMS150TE：高真空鍍碳儀，可制作高穩(wěn)定的碳膜和表面覆形膜，是TEM應(yīng)用*理想的選擇。
EMS150TES：集合了離子濺射和熱蒸鍍兩種真空沉積鍍膜方式，鍍膜頭可在幾秒內(nèi)快速更換，只能邏輯系統(tǒng)自動識別所裝的鍍膜頭類型，并顯示相應(yīng)的操作模式。
注：上述各型號都可配備如下可選的附件：金屬蒸鍍、碳絲蒸鍍、膜厚測量等
觸摸屏控制：
EMS150 T離子濺射鍍膜儀操作十分簡單，直觀的觸摸屏，即使*不熟練的操作者也可以自由操作，同時(shí)可方便的鍵入和存儲數(shù)據(jù)。為了方便使用，設(shè)備中已經(jīng)預(yù)存一些了典型的濺射和蒸發(fā)鍍膜參數(shù)資料。
鍍膜插入頭選項(xiàng)：
具有一系列可互換、即插即用的鍍膜插入頭
濺射插入頭適用于易氧化和不易氧化金屬材料，直徑57mmX0.3mm厚鉻靶為標(biāo)準(zhǔn)靶材
可用另外的濺射插入頭來快速更換鍍膜材料（僅為TS和TES型號）
適用于3.05mm碳棒蒸發(fā)插入頭
適用于6.15mm碳棒蒸發(fā)頭，建議使用3.05mm直徑的碳棒，它們更容易控制、更經(jīng)濟(jì)
碳絲蒸發(fā)插入頭
金屬蒸發(fā)和光闌潔凈頭，包括向上蒸發(fā)或向下蒸發(fā)（僅為TE和TES型號）
樣品臺選項(xiàng)
EMS150T具有各種易更換的樣品臺，drop-in落入式設(shè)計(jì)具高度可調(diào)（除旋轉(zhuǎn)行星臺）。
標(biāo)準(zhǔn)配置為旋轉(zhuǎn)臺， 直徑為50mm
可預(yù)設(shè)傾斜角度的旋轉(zhuǎn)臺（可選）
可變角度旋轉(zhuǎn)行星臺（可選）
可用于4〞晶圓的平面旋轉(zhuǎn)臺（可選）
顯微鏡載玻片樣品臺（可選）
其它選項(xiàng)
用于高樣品的加高腔室
膜厚監(jiān)測器（FTM）
用于測量低和高真空的全范圍真空計(jì)
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn):
金屬濺射或碳蒸發(fā)或兩者兼?zhèn)洌阂惑w化設(shè)計(jì)，節(jié)約空間
精細(xì)顆粒濺射：高分辨率場發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）制樣的精細(xì)鍍膜應(yīng)用
渦輪分子泵高真空系統(tǒng)：允許不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材的濺射鍍膜，大大拓寬了可濺射靶材范圍，既適合普通SEM、高分辨率FE-SEM鍍膜制樣應(yīng)用，也為許多薄膜應(yīng)用等材料科研領(lǐng)域提供理想的鍍膜平臺
全自動觸摸屏控制：快速數(shù)據(jù)輸入，簡單操作
可儲存多個(gè)客戶自定義鍍膜方案：對多用戶實(shí)驗(yàn)室十分理想
與鍍膜過程和鍍膜材料相匹配的預(yù)編程自動真空控制
精細(xì)的厚度控制：使用膜厚監(jiān)控選項(xiàng)
“智能”式系統(tǒng)識別：自動感知用戶所裝的插入式鍍膜頭的類型
高真空碳蒸鍍：對SEM和TEM鍍碳膜應(yīng)用非常理想
蒸發(fā)電流波形控制
Drop-in落入式快換樣品臺（標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺）
真空閉鎖功能：可讓工作腔室處于真空狀態(tài)，改善后續(xù)真空效果，或在真空條件下保存樣品
鍍制厚膜能力：一次真空條件下的濺射時(shí)間可長達(dá)60分鐘（材料科研領(lǐng)域的應(yīng)用）
人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的整體成型機(jī)殼：易維護(hù)和易拆裝
帶有本地FTP服務(wù)器連接的以太網(wǎng)端口：簡單的程序更新
設(shè)有功率因素補(bǔ)償，有效利用電能，降低運(yùn)行成本
符合當(dāng)前電器法規(guī)（CE認(rèn)證）
EMS150 T離子濺射鍍膜儀儀器參數(shù)：
儀器尺寸 | 585mm寬*470mm*410mm高(總高650mm) |
重量 | 33.4KG |
工作腔室 | 150mm（內(nèi)徑）*127mm（高）硼硅酸鹽玻璃腔室，并帶整體安全防護(hù)罩 |
觸摸屏用戶界面 | 帶有觸摸按鈕的全圖像界面，包含多達(dá)十個(gè)鍍膜程序，可提醒何時(shí)需要維護(hù) |
工作腔室 | 150mm（內(nèi)徑）*127mm（高）硼硅酸鹽玻璃腔室，并帶整體安全防護(hù)罩 |
樣品臺 | 轉(zhuǎn)速為8-20rpm的旋轉(zhuǎn)臺 |
真空系統(tǒng) | 渦輪子分子泵：帶有內(nèi)部空氣卻的渦輪分子泵，抽速為70L/s 旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵：抽速為50L/m的兩級旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵，帶有油污過濾器 |
真空測量 | 皮拉尼真空計(jì)作為標(biāo)配 |
極限真空度 | 10-5mbar兩級 |
電源需求 | 90-250V~50/60Hz 1400VA（ 包括旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵電壓240V） |
氣體 | 濺射工作氣體氬氣，99.999%（TS和TES版本）；氮?dú)?，放氣破真空氣體（可選） |
金屬蒸發(fā)和光闌清潔頭 | 用于源自鎢絲籃或舟的金屬熱蒸發(fā)?？膳鋫湟粋€(gè)標(biāo)準(zhǔn)鉬舟用于清潔SEM或TEM光闌 |
碳蒸發(fā) | 穩(wěn)定的無紋波直流電源控制的脈沖蒸發(fā)，確保源自碳棒或碳絲的可重復(fù)蒸碳 |
電流脈沖 | 1-90安培 |
濺射 | 0-150mA?？深A(yù)設(shè)膜厚（需FTM選項(xiàng)）或使用內(nèi)置定時(shí)器 |
濺射工作真空范圍 | 5*10-3到5*10-1mbar |
濺射靶材和碳耗材供應(yīng) | EMS150TS和EMS150TES標(biāo)配鉻靶，但可選用的其它靶材范圍很寬，包括那些廣泛用于SEM制樣的靶材，如：Au金靶，Au/pd金鈀，Pt鉑靶，和Iridium銥靶。對非SEM應(yīng)用，可選用的靶材包括：AI鋁，Ta鉭，ITO氧化銦錫，F(xiàn)e鐵，W鎢，Ti鈦，等等：碳制品包括高純度碳絲。 |
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