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MSE-2401/2402/2403 全自動(dòng)便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀（干泵）

島津氦質(zhì)譜檢漏儀搭載了新型的CPU，采用專用的分流泵及中間排氣系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了**的低BG恢復(fù)性能和操作性。

產(chǎn)品信息

主要特點(diǎn)

• 靈敏度: 10-13~100Pa?m3/s【He】

• 氦氣排氣速度：3 L/S

• **的本底恢復(fù)性能和極短的節(jié)拍時(shí)間

• 大屏幕液晶觸摸顯示面板，操作便捷

• 分析管采用長(zhǎng)壽命的鍍氧化釷銥燈絲（內(nèi)置兩根）

• 采用非接觸式干泵為無(wú)塵室提供更優(yōu)化的真空系統(tǒng)

• 無(wú)油/無(wú)塵/三年免維護(hù)（干泵）

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體和平板顯示器制造

• LED制造

• 鍍膜設(shè)備

• 制冷設(shè)備和空調(diào)的元件及部件

• 低溫壓力容器

• 閥門氣密性

• 撿漏航空部件，配件及系統(tǒng)