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高靈敏度

SolidSpec-3700和3700DUV是一臺使用3個檢測器的分光光度計(jì)：光電倍增管（PMT）探測器檢測紫外區(qū)和可見光區(qū)，近紅外區(qū)使用InGaAs 和 PbS檢測器。InGaAs 和 PbS檢測器的使用使得近紅外區(qū)域的靈敏度顯著增強(qiáng)。

深紫外區(qū)檢測

SolidSpec-3700DUV具有檢測深紫外區(qū)的能力，可測定至165nm或175nm的積分球。此檢測是用氮?dú)獯祾吖馐液蜆悠肥疫M(jìn)行的。注： 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光單元DDU-DUV測定）的*短波長。

大樣品室

大樣品室（900W x 700D x 350H mm) 可在不損傷大樣品的前提下進(jìn)行檢測。其垂直光路可直接測量大樣品同時保持它們的水平狀態(tài)。使用自動X-Y樣品臺（選配）測定樣品的尺寸是12英寸或310×310mm。

FPD：

材料評估中NIR和大樣品的高靈敏度測定。

半導(dǎo)體：

短波長激光和12英寸晶片整體表面的深紫外區(qū)測定。

光通信：

減反射膜NIR高靈敏度測定。

光學(xué)：

從DUV到NIR再到大樣品的高靈敏度分析。

一體軟件

SolidSpec-3700/3700DUV的UVProbe軟件包括光譜模塊，光度模塊，動力學(xué)及報(bào)告模塊等功能。多重的安全性及可追蹤性以確保刪除數(shù)據(jù)的可靠性。

1.Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光單元DDU/DDU-DUV對于液、固樣品透過率測定

2.自動X-Y樣品臺（自動測量）

3.大型鏡面反射附件

4.氮?dú)饬髁垦b置

5.鏡面反射附件(5°12°30°45°)

6.積分球刪除樣品盤