本系統(tǒng)應(yīng)用于光學(xué)元件表面散射率的測(cè)量,主要針對(duì)大尺寸光學(xué)元件。
指數(shù)指標(biāo)
- 散射率檢測(cè)精度 0.1%
- 升降機(jī)構(gòu)重復(fù)定位精度:0.02mm
- 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)重復(fù)定位精度:<0.05°
- 傾斜機(jī)構(gòu)調(diào)整角度:±7.5 °
- 平移機(jī)構(gòu):分辨率1um
- 工作頻率(電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)):1000Hz
- 動(dòng)態(tài)范圍(電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)):80dB
- 品質(zhì)因數(shù)(電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)):Q>50
- A/D(電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)):16bit