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ESS01波長掃描式自動變角度光譜橢偏儀
ESS01波長掃描式自動變角度光譜橢偏儀

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北京賽凡光電儀器有限公司

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ESS01是針對科研和工業(yè)環(huán)境中薄膜測量推出的波長掃描式、高精度自動變?nèi)肷浣嵌裙庾V橢偏儀,此系列儀器波長范圍覆蓋紫外、可見、近紅外到遠(yuǎn)紅外。

ESS01采用寬光譜光源結(jié)合單色儀的方式實(shí)現(xiàn)高光譜分辨的橢偏測量。

ESS01系列光譜橢偏儀用于測量單層和多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)(如,厚層厚度、表面為粗糙度等)和光學(xué)參數(shù)(如,折射率n、消光系數(shù)k、復(fù)介電常數(shù)ε等),也可用于測量塊狀材料的光學(xué)參數(shù)。

ESS01適合多入射角光譜橢偏儀尤其適合科研中的新品研發(fā)。

技術(shù)特點(diǎn):

  • 極寬的光譜范圍

    采用寬光譜光源、寬光譜掃描的系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計(jì),保證了儀器在極寬的光譜范圍下都具有高準(zhǔn)確度,非常適合于對光譜范圍要求極其嚴(yán)格的場合。
  • 靈活的測量設(shè)置

    儀器的多個關(guān)鍵參數(shù)可根據(jù)要求而設(shè)定(包括:波長范圍、掃描步距、入射角度等),極大地提高了測量的靈活性,可以勝任要求苛刻的樣品。
  • 原子層量級的檢測靈敏度

    國際先進(jìn)的采樣方法、高穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的設(shè)計(jì)和制造工藝實(shí)現(xiàn)并保證了能夠測量原子層量級地納米薄膜,膜厚精度達(dá)到0.05nm。
  • 非常經(jīng)濟(jì)的技術(shù)方案

    采用較經(jīng)濟(jì)的寬光譜光源結(jié)合掃描單色儀的方式實(shí)現(xiàn)高光譜分辨的橢偏測量,儀器整體成本得到有效降低。

應(yīng)用領(lǐng)域:

ESS01系列多入射角光譜橢偏儀尤其適合科研中的新品研發(fā)。

ESS01適合很大范圍的材料種類,包括對介質(zhì)材料、聚合物、半導(dǎo)體、金屬等的實(shí)時和非實(shí)時檢測,光譜范圍覆蓋半導(dǎo)體地臨界點(diǎn),這對于測量和控制合成的半導(dǎo)體合金成分非常有用。并且適合于較大的膜厚范圍(從次納米量級到10微米左右)。

ESS01可用于測量光面基底上的單層和多層納米薄膜的厚度、折射率n及消光系數(shù)k。應(yīng)用領(lǐng)域包括:微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁介質(zhì)存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等。

薄膜相關(guān)應(yīng)用涉及物理、化學(xué)、信息、環(huán)保等,典型應(yīng)用包括:

  • 半導(dǎo)體:如:介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜,激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件等);
  • 平板顯示:TFT、OLED、等離子顯示板、柔性顯示板等;
  • 功能性涂料:增透型、自清潔型、電致變色型、鏡面性光學(xué)涂層,以及高分子、油類、Al2O3表面鍍層和處理等;
  • 生物和化學(xué)工程:有機(jī)薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子層、薄膜吸附、表面改性處理、液體等。
  • 節(jié)能環(huán)保領(lǐng)域:LOW-E玻璃等。
ESS01系列也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。應(yīng)用領(lǐng)域包括:固體(金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)等),或液體(純凈物或混合物)。典型應(yīng)用包括:

  • 玻璃新品研發(fā)和質(zhì)量控制等。

技術(shù)指標(biāo):

項(xiàng)目
技術(shù)指標(biāo)
光譜范圍
ESS01VI:370-1700nm
ESS01UI:245-1700nm
光譜分辨率(nm)
可設(shè)置
入射角度
40°-90°自動調(diào)節(jié)
準(zhǔn)確度
δ(Psi): 0.02 ° ,δ(Delta): 0.04°
(透射模式測空氣時)
膜厚測量重復(fù)性(1)
0.05nm (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
折射率n測量重復(fù)性(1)
0.001(對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
單次測量時間
典型0.6s / Wavelength / Point(取決于測量模式)
光學(xué)結(jié)構(gòu)
PSCA(Δ在0°或180°附近時也具有極高的準(zhǔn)確度)
可測量樣品**尺寸
直徑Φ200 mm
樣品方位調(diào)整
高度調(diào)節(jié)范圍:10mm
二維俯仰調(diào)節(jié):±4°
樣品對準(zhǔn)
光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)對準(zhǔn)系統(tǒng)
軟件
•多語言界面切換
•預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用
•安全的權(quán)限管理模式(管理員、操作員)
•方便的材料數(shù)據(jù)庫以及多種色散模型庫
•豐富的模型數(shù)據(jù)庫
選配件
自動掃描樣品臺
聚焦透鏡
注:(1)測量重復(fù)性:是指對標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續(xù)測量30次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差。

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10分

易用性

10分

性價比

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