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儀器簡(jiǎn)介：

CSPM5500是本原納米儀器有限公司于2008年8月研制成功的新一代掃描探針顯微鏡，其功能齊全、性能優(yōu)越、運(yùn)行穩(wěn)定、使用方便，非常適合用戶開(kāi)展納米研究工作。

技術(shù)參數(shù)：

(1)國(guó)際主流的研究級(jí)專業(yè)儀器，集成原子力顯微鏡(AFM)，橫向力顯微鏡(LFM)，掃描隧道顯微鏡(STM)

(2)分辨率：

原子力顯微鏡：橫向0.2nm，垂直0.1nm（以云母晶體標(biāo)定）

掃描隧道顯微鏡：橫向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶體標(biāo)定）

(3)高精度計(jì)量型儀器，采用NanoSensors提供的可溯源于國(guó)際計(jì)量權(quán)威機(jī)構(gòu)Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)

(4)一鍵式快速全程全自動(dòng)進(jìn)樣，無(wú)需手動(dòng)預(yù)調(diào)，行程大于30mm，可容納超大樣品

(5)兩級(jí)可讀數(shù)樣品調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，可對(duì)樣品進(jìn)行精確的檢測(cè)區(qū)域定位

(6)一次掃描技術(shù)，圖像分辨高達(dá)4096×4096物理象素，微米級(jí)掃描即可得到納米級(jí)的實(shí)際信息

(7)先進(jìn)PID反饋算法實(shí)現(xiàn)快速高精度作用力控制，確保系統(tǒng)在高速掃描中穩(wěn)定成像，實(shí)際掃描速度提升一個(gè)數(shù)量級(jí)

(8)系統(tǒng)采用10M/100M快速以太網(wǎng)(Fast Ethernet 10/100)或USB 2.0與計(jì)算機(jī)連接

(9)主控機(jī)箱前面板具有16×4液晶顯示屏，系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示

(10)具備實(shí)時(shí)在線三維圖像顯示功能，便于用戶在檢測(cè)過(guò)程中隨時(shí)直觀獲得樣品信息

主要特點(diǎn)：

(1) 標(biāo)準(zhǔn)配置：

原子力顯微鏡(AFM)：包括接觸、輕敲、相移成像(Phase Imaging)等多種工作模式

橫向力顯微鏡(LFM)：具有摩擦力回路曲線、摩擦力載荷曲線、摩擦力恒載荷曲線等摩擦學(xué)性能分析測(cè)量功能

掃描隧道顯微鏡(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲線、I-Z曲線等

曲線測(cè)量分析功能：力-距離曲線、振幅-距離曲線、相移-距離曲線等

(2)選配功能：

納米加工：包括圖形刻蝕模式、壓痕/機(jī)械刻畫(huà)、矢量掃描模式、DPN浸潤(rùn)筆模式等；

磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡；

環(huán)境控制掃描探針顯微鏡；

液相掃描探針顯微鏡；

導(dǎo)電原子力顯微鏡；

掃描探針聲學(xué)顯微鏡；

掃描開(kāi)爾文探針顯微鏡；

掃描電容顯微鏡；

壓電力顯微鏡