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自動(dòng)平衡氣墊精密光學(xué)平臺(tái)
氣墊隔振平臺(tái)外形尺寸
1200×800×800mm
1500×1000×800mm
1800×1000×800mm
1800×1200×800mm
2000×1200×800mm
2400×1200×800mm
氣墊隔振平臺(tái)性能
平面粗糙度不大于0.8um
平面度不大于0.05mm/㎡
振幅不大于3um
固有頻率不大于3Hz
M6安裝螺孔間距25×25mm或50×50mm
平臺(tái)表面材質(zhì)采用高導(dǎo)磁不銹鋼板面
有自動(dòng)平衡和普通氣墊平臺(tái)2種
天津博君科技有限公司
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