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Sievers硼分析儀可用于去離子超純水應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)對(duì)超低硼含量的連續(xù)自動(dòng)在線監(jiān)測(cè)。該分析儀每小時(shí)能夠檢測(cè)10個(gè)樣品，具有15 ppt硼的檢測(cè)極限（LOD）。Sievers硼分析儀設(shè)計(jì)用于滿足設(shè)備管理人員、去離子水工程師和晶圓制造工程師的需求。
易于操作和維護(hù)
Sievers硼分析儀可以預(yù)測(cè)混床失效、優(yōu)化EDI性能并控制拋光循環(huán)水的硼水平。這款硼分析儀可以在二氧化硅釋放前檢測(cè)到硼含量的增加，這有助于防止二氧化硅滲漏到超純水中。Sievers硼分析儀可顯著降低運(yùn)營(yíng)成本，保持超純水系統(tǒng)的質(zhì)量。
硼分析儀的特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
連續(xù)在線監(jiān)測(cè)低至15 ppt的硼
多流路選項(xiàng)——*多四個(gè)樣品流
豐富的輸出選擇——四個(gè)獨(dú)立的4-20 mA輸出，一個(gè)獨(dú)立的RS-232，一個(gè)通用并行打印機(jī)端口，兩個(gè)報(bào)警輸出和四個(gè)獨(dú)立的二進(jìn)制輸出
*少的維護(hù)與耗材需求
配件包包含安裝所需的配件
半導(dǎo)體超純工藝水
超純水電力應(yīng)用
運(yùn)行規(guī)格 | |
|---|---|
| 濃度范圍 | 0.015至20 ppb B |
| 檢測(cè)限（LOD） | 0.015 ppb B |
| 準(zhǔn)確度 | ± 0.01 ppb B <0.05 ppb B ± 15% >0.05 ppb B |
| 精確度 | ± 3%或0.005 ppb B（以較高者為準(zhǔn)） |
| *小樣品 電阻率 | 15 megaohms–cm |
| 樣品溫度 | 15°-40°C |
| 樣品流速 | 0.1 -0.5 L/分鐘 |
| 環(huán)境溫度 | 10°C–40°C |
| 樣品壓力 | 20-100 psig（138-689 kPa） |
| 校準(zhǔn)穩(wěn)定性 | 通常12個(gè)月 |
| 樣品顆粒 | 15微米樣品預(yù)過(guò)濾 |
| 廢物 | 重力排放（無(wú)背壓） |
儀器規(guī)格 | |
| 輸入 | 5個(gè)隔離二進(jìn)制輸入 |
| 輸出 | 4個(gè)獨(dú)立4-20 mA輸出，1個(gè)獨(dú)立RS-232，1個(gè)通用并行打印機(jī)端口，2個(gè)報(bào)警輸出，4個(gè)獨(dú)立二進(jìn)制輸出 |
| 尺寸 | 20.625 H x 17.25 W x 12.25 D英寸（53 x 44 x 31 cm） |
| 重量 | 48 lbs（22kg） |
| 認(rèn)證 | CE（點(diǎn)擊此處獲取符合性聲明） |
耗材 | |
| 硼試劑 | 90天（12分鐘取樣率） 45天（6.5分鐘取樣率） |
| 試劑柱 | 12個(gè)月 |
| 零柱 | 12個(gè)月 |
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