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- 放大倍率 : 30x ~ 100，000x 分辨率5nm

- 加速電壓 : 5 ~ 30kV (5/10/15/20/30kV - 5 step)

■ 規(guī)格

- 樣品移動(dòng)距離

: X: 20 mm， Y: 20 mm，

Rotation : 360°

Tilt : 0~45°， Z : 0~30 mm

- **樣品尺寸 : 直徑80mm

- **樣品厚度 : 35mm

■ 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

- 電子槍: 預(yù)對(duì)準(zhǔn)鎢燈絲

- 檢測(cè)系統(tǒng) : 二次電子探測(cè)器

- 真空泵：

旋轉(zhuǎn)式真空泵100L/min

渦輪分子泵80L/S

■ 設(shè)備主要構(gòu)成

- 筆記本電腦 1臺(tái)

- 電子掃描顯微鏡主體一臺(tái)

- 燈絲5個(gè)

- 載物臺(tái) 15mm dia (10pcs/set)

25mm dia (5pcs/set)

15mm 45°tilt(5pcs/set)

15mm 90°tilt(5pcs/set)