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一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀Auto SE
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儀器簡(jiǎn)介:

新型的全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具,工業(yè)化設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析,并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

技術(shù)參數(shù):

·光譜范圍:450-1000 nm

·多種微光斑自動(dòng)選擇

·**光斑可視技術(shù),可觀測(cè)任何樣品表面

·CCD探測(cè)器

·自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

·70度角入射

主要特點(diǎn):

·完全自動(dòng)化設(shè)計(jì),一鍵式操作,直接報(bào)告輸出·液晶調(diào)制技術(shù),測(cè)量光路中無(wú)運(yùn)動(dòng)部件·CCD探測(cè)系統(tǒng),快速全譜輸出·多個(gè)微光斑尺寸選擇,**可視技術(shù)·封閉式樣品倉(cāng)

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