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146i 型多種氣體校準(zhǔn)儀
在局域網(wǎng)上可被遠(yuǎn)程訪問
大屏幕液晶顯示
用閃存增強(qiáng)數(shù)據(jù)存儲性能
優(yōu)化的設(shè)計(jì)加強(qiáng)了電路的通用性和集成性
易于維護(hù)的內(nèi)部布局
配有質(zhì)量流量稀釋系統(tǒng)
配有產(chǎn)生O3和NO2的氣相滴定裝置
可配產(chǎn)生SO2、NO2、H2S、NH3等氣體的滲透爐
流量測量準(zhǔn)確度 | ±2%讀數(shù)或1%滿度值，以較低者為準(zhǔn)（20至100%滿度值） |
流量測量線性 | 0.5%滿度值 |
流量測量重復(fù)性 | ±2%讀數(shù)或1%滿度值，以較低者為準(zhǔn)（20至100%滿度值） |
零氣流量 | 5或10（準(zhǔn)標(biāo)）或20slm |
標(biāo)氣流量 | 50或100（標(biāo)準(zhǔn)）或200sccm |
滲透透爐溫度 | 30或35或45℃±0.1℃ |
臭氧源輸出濃度 | 1ppm@6 SLPM(穩(wěn)定性和重復(fù)性滿足或超過U.S. EPA 的要求） |
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