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適用于各種材質(zhì)的非接觸3D測(cè)量

緊湊，快速，精確至納米級(jí) VIKING

桌面式3D輪廓測(cè)量?jī)xVIKING 測(cè)量范圍

VIKING是個(gè)體型小和低重量的光學(xué)3D輪廓測(cè)量?jī)x，非常適合VIKING系統(tǒng)提供150毫米 x 150 毫米的平面測(cè)量范圍。根據(jù)

放置在一般的桌臺(tái)上。不同應(yīng)用，它可以配備光譜共焦點(diǎn)傳感器或激光三角線(xiàn)傳感

器。根據(jù)每個(gè)單獨(dú)配置，VIKING高度精度能達(dá)到10納米內(nèi)。簡(jiǎn)單的設(shè)置與操作

另外，可以選擇用于獲取和處理數(shù)據(jù)的不同選項(xiàng)，其中包括

基于***的創(chuàng)新傳感器技術(shù)，VIKING量測(cè)系統(tǒng)可以快速操作簡(jiǎn)單的編程程序以實(shí)現(xiàn)重復(fù)性測(cè)量。

生成三維表面形貌。此外，直觀和易于操作的系統(tǒng)軟件是

VIKING測(cè)量系統(tǒng)的另一個(gè)關(guān)鍵特點(diǎn):新的操作員只需花費(fèi)較

短的時(shí)間來(lái)理解系統(tǒng)，并可以在短時(shí)間內(nèi)執(zhí)行更多的測(cè)量。

一旦建立并保存后，測(cè)量和數(shù)據(jù)分析過(guò)程可以在任何時(shí)候重

復(fù)執(zhí)行。

典型應(yīng)用

?輪廓?三維面粗糙度?厚度?體積

?幾何尺寸?直線(xiàn)度?截面面積?二維線(xiàn)粗糙度

?磨損?平面度?面積

每個(gè)應(yīng)用，除了參數(shù)結(jié)果數(shù)據(jù)，也提供了光學(xué)表面測(cè)量圖和不同的分析圖。

輪廓和面平面度直線(xiàn)

ISO 12781 ISO 12780

Flatness Parameters Straightness parameters

FLTt28，2 μmPeak-to-valley flatness deviation of the surface STRt8，19 μmPeak-to-valley straightness deviation

FLTp13，3 μmPeak-to-reference flatness deviation STRp3，32 μmPeak-to-reference straightness deviation

FLTv 14，9 μmReference-to-valley flatness deviation STRv 4，87 μmReference-to-valley straightness deviation

FLTq5，98 μmRoot-mean-square flatness deviation STRq2，33 μmRoot-mean-square straightness deviation

Parameters Value Unit

Area 1，95 mm2

Volume 21526324 μm3

Max height 26，6 μm

二維線(xiàn)粗糙度三維線(xiàn)粗糙度

ISO 4287 ISO 25178

Amplitude parameters - Roughness profile Parameters table - S-L-Surface

Context MeanStd dev Min Max Height Parameters

RaμmGaussian filter， 0.8 mm 0，329 0，00839 0，318 0，356 Sa1，53 μmArithmetic mean height

RqμmGaussian filter， 0.8 mm 0，407 0，0108 0，395 0，442 Sq1，99 μmRoot-mean-square height

RpμmGaussian filter， 0.8 mm 1，09 0，0289 1，04 1，16 Feature Parameters

Rv μmGaussian filter， 0.8 mm 1，13 0，0555 1，04 1，23 S5p 5，63 μmpruning = 5% Five point peak height

RzμmGaussian filter， 0.8 mm 2，21 0，07 2，11 2，39 S5v 10，1 μmpruning = 5% Five point pit height

RtμmGaussian filter， 0.8 mm 2，54 0，112 2，34 2，78 S10z 15，7 μmpruning = 5% Ten point height

SOLARIUSGLOBAL.COMVIKING 3

技術(shù)參數(shù) VIKING

光譜共焦傳感器:

光學(xué)探頭¹⁾0，2 mm 1 mm 4 mm 12 mm

應(yīng)用距離，厚度

測(cè)量范圍200 μm1 mm 4 mm 12 mm

工作距離4.7 mm 15.7 mm 36.7 mm 29 mm

光斑直徑3.4 μm5 μm8 μm14 μm

橫向分辨率1.7 μm2.5 μm4 μm7 μm

縱向分辨率8 nm 40 nm 160 nm 180 nm

線(xiàn)性度150 nm 400 nm 1.6 μm-

測(cè)量角度范圍90 °± 45 °90 °± 28 °90 °± 20 °90 °± 14 °

測(cè)量厚度范圍²⁾up to 0.3 mm up to 1.5 mm up to 6 mm up to 16 mm

頻率up to 4，000 Hz 2，000 Hz

光源LED

¹⁾ 更多型號(hào)我們

²⁾ 折射 n=1.5

激光三角傳感器:

傳感器5 mm 20 mm 40 mm 60 mm 80 mm

測(cè)量范圍Z5.9 mm 20 mm 40 mm 60 mm 80 mm

工作距離38 mm 53 mm 50 mm 53 mm 60 mm

分辨率3.9 μm13.3 μm26.6 μm40 μm53 μm

測(cè)量范圍（X）-中間4.5 mm 12 mm 24 mm 35 mm 48 mm

測(cè)量范圍（X）-開(kāi)始3.9 mm 10 mm 20 mm 30 mm 40 mm

測(cè)量范圍（X）-結(jié)束5 mm 13 mm 27 mm 40 mm 55 mm

頻率200 Hz / 350 Hz (X分辨率減低)

線(xiàn)性< 0.06 % of FS （整個(gè)量程范圍）

光源激光波長(zhǎng) 658 nm， 激光器等級(jí) 2M

系統(tǒng)配置:

設(shè)置桌臺(tái)式

橫向測(cè)量距離/行程范圍150 mm x 150 mm

平臺(tái)平面度± 5 μm

負(fù)載容量*重 10 公斤

垂直行程范圍25 mm

尺寸[寬 x 深 x 高]475 mm x 450 mm x 434 mm

重量29 公斤

供應(yīng)電壓100-240 V， 50-60 Hz

文件格式SUR， TXT， CSV

電腦臺(tái)式電腦包含顯示器

軟件SolarScanNT， SolarMap

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