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一種能自動實(shí)時測量擴(kuò)散結(jié)深的光學(xué)測量系統(tǒng).該系統(tǒng)是對磨槽機(jī)在硅片上的磨槽進(jìn)行測量來獲得擴(kuò)散結(jié)深數(shù)據(jù)的.

技術(shù)參數(shù)：

1，測量方式

實(shí)時影像測量，無須拍照后測量

2，測量模式

自動測量，無須鼠標(biāo)取點(diǎn)或取邊

3，統(tǒng)計(jì)功能

**值、*小值、平均值、極差、方差、標(biāo)準(zhǔn)差、離散系數(shù)等；同時處理多個管制項(xiàng)目；實(shí)時顯示統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，并可以根據(jù)用戶要求增加統(tǒng)計(jì)項(xiàng)目

報(bào)表系統(tǒng) 采用智能化選擇性數(shù)據(jù)輸出技術(shù)，實(shí)現(xiàn)“待測工件→測量參數(shù)→專用報(bào)告→品管統(tǒng)計(jì)”數(shù)據(jù)流自動化

主要特點(diǎn)：

快速，實(shí)時，精確，可靠