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深紫外納秒固體激光器IMPRESS系列213/224
是高重頻二極管泵浦調(diào)Q固體激光器。其優(yōu)異的TEM00光束模式非常適合用于計(jì)量學(xué)和微細(xì)加工(如半導(dǎo)體或顯示器修復(fù)等),其極短的波長(zhǎng)適合于直接刻寫應(yīng)用。系統(tǒng)通過RS-232接口完全由電腦控制運(yùn)行,可接受不同的觸發(fā)控制模式。深紫外納秒固體激光器IMPRESS系列213/224典型參數(shù)
型 號(hào) | IMPRESS 213 | IMPRESS 224 |
波 長(zhǎng) | 213 nm | 224 nm |
平均功率 | 150 mW | 300 mW |
脈 寬 | < 7 ns | < 9 ns |
脈沖能量 | >15 μJ | >30 μJ |
重復(fù)頻率 | 0.1-30 kHz | 0.1-30 kHz |
M2 因子 | < 1.6 | < 1.6 |
深紫外納秒固體激光器IMPRESS系列213/224特點(diǎn)· 極短紫外波長(zhǎng)· 插槽安裝激光二極管泵浦· 優(yōu)異的光束形貌· 超低運(yùn)行與維護(hù)成本· “綠色光電”· 24/7連續(xù)工業(yè)使用IMPRESS 213光束質(zhì)量IMPRESS 224光束質(zhì)量深紫外納秒固體激光器IMPRESS系列213/224應(yīng)用· 光纖布拉格光柵刻寫· 波長(zhǎng)敏感加工· 立體光刻· 顯示器修復(fù)· 微細(xì)加工· 半導(dǎo)體檢測(cè)· 倍頻氬離子激光器替換· 光致發(fā)光測(cè)量IMPRESS 213-典型值IMPRESS 224-典型值優(yōu)異的FBG刻寫性能· 超快刻寫速度,僅需數(shù)分鐘· 光纖無需預(yù)載氫· 高重頻刻寫光纖光柵質(zhì)量更高· 超低運(yùn)行與維護(hù)成本,體積小參考文獻(xiàn)
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