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該系統(tǒng)利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測(cè)技術(shù)和超平整參照面-大型樣品臺(tái)掃描技術(shù)，并與壓電陶瓷（PZT）掃描**結(jié)合，可以再不喪失精度的情況下，即得到超大樣品整體三維輪廓圖，又呈現(xiàn)局部三維形貌像。其中樣品臺(tái)掃描參考平面使用超高平坦度光學(xué)拋光平臺(tái)，有效解決了以往樣品臺(tái)掃面，由于絲杠公差引起的測(cè)試結(jié)果有亞微米量級(jí)的誤差。

三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺(tái)階高度，二維粗糙度（Ra，Rq，Rmax...），三維粗糙度（Sa，Sq，Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測(cè)量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過(guò)于粗糙的現(xiàn)狀。將輪廓儀帶入了另一個(gè)高精度測(cè)量的新時(shí)代。

主要特點(diǎn)：

1、常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的**結(jié)合

2、雙模式操作（針尖掃描和樣品臺(tái)掃描），即使在長(zhǎng)程測(cè)量時(shí)也可以得到**化的小區(qū)域三維測(cè)圖

3、針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍到50mm。

4、在掃描過(guò)程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察

5、針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時(shí)擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍（**至500μm）及亞納米級(jí)垂直分辨率?。??。?１nm ）

6、軟件設(shè)置恒定微力接觸

7、簡(jiǎn)單的2步關(guān)鍵操作，友好的軟件操作界面