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小型離子濺射儀108
小型離子濺射儀108

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產(chǎn)地

美國

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廣州競贏化工科技有限公司

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108真空鍍膜儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的手動型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜。

主要特性

l通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

l操作容易快捷,控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。

l可用MTM-10高分辨膜厚控制儀(選件)精確測定所鍍膜的厚度。

l數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。

l可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/PdAu靶為標配),靶材更換快速方便。

l

技術(shù)參數(shù)

l

l

濺射系統(tǒng)

樣品室大小

直徑120mm x 120mm

靶材

Au 靶為標配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);

大小:直徑57mm x 0.1mm

樣品臺

可以裝載12SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為50mm

濺射控制

微處理器控制,安全互鎖

濺射電流

5~45mA可調(diào)

濺射頭

低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護罩

計量表

真空: Atm - 0.001mbar,電流:0~50mA

厚度監(jiān)控 (選件)

使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)精確測定所鍍膜的厚度

控制方法

具有氣體換氣和泄氣功能,帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器(5300s

真空系統(tǒng)

真空泵

2級直連式高速真空泵

抽氣速率

3.0 m3/小時,真空度到 0.1mb所需時間30.

極限真空

5 x 10-3mba

桌上系統(tǒng)

真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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