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概要CS-131是半導(dǎo)體制造中清洗工藝的SC-1溶液用于高精度藥液濃度的監(jiān)測(cè)儀，實(shí)現(xiàn)了過(guò)去所沒(méi)有的高速響應(yīng)性和小巧化。可以常時(shí)間的監(jiān)測(cè)微粒以及有機(jī)物的清除作業(yè)中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分濃度。通過(guò)使用監(jiān)測(cè)輸出的回收控制，可以確保SC-1溶液的濃度在允許范圍內(nèi)，同時(shí)，還可以避免不必要的更換藥液工作。并且，冷卻器一體型也進(jìn)入了產(chǎn)品陣容內(nèi)，可適用較大范圍的樣品溫度。

技術(shù)參數(shù)：

特點(diǎn)

監(jiān)測(cè)周期大約為2秒，支持300mm工藝的濃度管理

實(shí)現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測(cè)周期(※)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時(shí)反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時(shí)間、冷卻時(shí)間)

小巧化設(shè)計(jì)有利于節(jié)省清洗裝置的空間

由于底面面積只有原來(lái)的2/3(※)左右，這種小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。

(※和本公司產(chǎn)品CS-220系列進(jìn)行比較)

通過(guò)減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量

通過(guò)濃度計(jì)的信號(hào)輸出，進(jìn)行SC-1溶液的補(bǔ)給控制，從而實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進(jìn)產(chǎn)量的全面提高。

全自動(dòng)監(jiān)測(cè)與簡(jiǎn)易控制

用戶只需引入SC-1溶液即可。監(jiān)測(cè)是全自動(dòng)方式，因此開(kāi)始監(jiān)測(cè)后不需要進(jìn)行任何控制。另外，由于參照光譜測(cè)量時(shí)使用的是空氣，所以不需要用水。

通過(guò)采取全面的氣泡對(duì)策，可監(jiān)測(cè)高溫樣品

在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測(cè)過(guò)程中進(jìn)一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測(cè)單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在*低限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計(jì)。溫度補(bǔ)償將自動(dòng)進(jìn)行。

采用DC24V，實(shí)現(xiàn)高安全性

電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時(shí)可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。

SC-1濃度計(jì)

CS-131

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)和規(guī)格

CS-131：無(wú)冷卻器

CS-131C：冷卻器一體型

監(jiān)測(cè)對(duì)象

SC-1(氨/過(guò)氧化氫水溶液)

測(cè)量原理

吸收光譜測(cè)定法

濃度計(jì)算的原理

溫度補(bǔ)償型多變量解析法

監(jiān)測(cè)范圍

氨：0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00%

過(guò)氧化氫：0.00〜5.00% / 0.00〜7.00% / 0.00〜10.00%

水：94.0〜 100% / 90.0〜 100% / 85.0〜100%

再現(xiàn)性

氨： ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%

過(guò)氧化氫： ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%

水　　　?。?±1.5% / ±1.5% / ±1.5%

藥液條件 溫度

CS-131：20〜30℃

CS-131C：20〜80℃

藥液條件 流量

CS-131：20〜60mL/min

CS-131C：20〜40mL/min

藥液條件 壓力

0.10〜0.20MPa

監(jiān)測(cè)周期

*小約2秒(不包含藥液的置換時(shí)間・冷卻時(shí)間)

設(shè)置溫度

20〜25℃

操作面板

1)溫度檢測(cè)值的顯示：氨、過(guò)氧化氫、水

2)報(bào)警信號(hào)的顯示(氨、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下 限、濃度上限、濃度上上限

3)報(bào)警信號(hào)值的設(shè)定(氨、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下限，濃度上限、濃度上上限

串行輸入

RS-232C

1)濃度數(shù)據(jù)：氨、過(guò)氧化氫、水

2)報(bào)警信號(hào)值的設(shè)定(氨、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限

并行輸入

DC12〜30V(光電耦合器絕緣)

并行溫度報(bào)警(有效/無(wú)效)

并行輸出

開(kāi)路集電極輸出為ON 時(shí)的**電流：5mA、為OFF時(shí)的**電壓：30V

1)報(bào)警信號(hào)輸出(氨、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限

2)裝置異常

3)漏液

模擬輸出

4〜20mA(2輸出：NH3濃度、H2O2濃度的2輸出)

＊與量程規(guī)格技術(shù)規(guī)格無(wú)關(guān)，可以使4〜20mA輸出對(duì)應(yīng)于0〜10%濃度。(請(qǐng)?jiān)谟嗀洉r(shí)指定)

電源

DC24V±10%， 2A

外形尺寸

CS-131：205(W)×329(D)×269(H)mm

CS-131C：291(W)×329(D)×269(H)mm

質(zhì)量

CS-131：約11kg

CS-131C：約12kg

連接配管尺寸

導(dǎo)入用、排出用外徑均為3mm(內(nèi)徑均為2mm)

配管接頭

Nippon Pillar Super型

主要特點(diǎn)：

特點(diǎn)

監(jiān)測(cè)周期大約為2秒，支持300mm工藝的濃度管理

實(shí)現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測(cè)周期(※)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時(shí)反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時(shí)間、冷卻時(shí)間)

小巧化設(shè)計(jì)有利于節(jié)省清洗裝置的空間

由于底面面積只有原來(lái)的2/3(※)左右，這種小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。

(※和本公司產(chǎn)品CS-220系列進(jìn)行比較)

通過(guò)減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量

通過(guò)濃度計(jì)的信號(hào)輸出，進(jìn)行SC-1溶液的補(bǔ)給控制，從而實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進(jìn)產(chǎn)量的全面提高。

全自動(dòng)監(jiān)測(cè)與簡(jiǎn)易控制

用戶只需引入SC-1溶液即可。監(jiān)測(cè)是全自動(dòng)方式，因此開(kāi)始監(jiān)測(cè)后不需要進(jìn)行任何控制。另外，由于參照光譜測(cè)量時(shí)使用的是空氣，所以不需要用水。

通過(guò)采取全面的氣泡對(duì)策，可監(jiān)測(cè)高溫樣品

在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測(cè)過(guò)程中進(jìn)一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測(cè)單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在*低限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計(jì)。溫度補(bǔ)償將自動(dòng)進(jìn)行。

采用DC24V，實(shí)現(xiàn)高安全性

電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時(shí)可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。

SC-1濃度計(jì)

CS-131

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)和規(guī)格

CS-131：無(wú)冷卻器

CS-131C：冷卻器一體型

監(jiān)測(cè)對(duì)象

SC-1(氨/過(guò)氧化氫水溶液)

測(cè)量原理

吸收光譜測(cè)定法

濃度計(jì)算的原理

溫度補(bǔ)償型多變量解析法

監(jiān)測(cè)范圍

氨：0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00%

過(guò)氧化氫：0.00〜5.00% / 0.00〜7.00% / 0.00〜10.00%

水：94.0〜 100% / 90.0〜 100% / 85.0〜100%

再現(xiàn)性

氨： ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%

過(guò)氧化氫： ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%

水　　　　： ±1.5% / ±1.5% / ±1.5%

藥液條件 溫度

CS-131：20〜30℃

CS-131C：20〜80℃

藥液條件 流量

CS-131：20〜60mL/min

CS-131C：20〜40mL/min

藥液條件 壓力

0.10〜0.20MPa

監(jiān)測(cè)周期

*小約2秒(不包含藥液的置換時(shí)間・冷卻時(shí)間)

設(shè)置溫度

20〜25℃

操作面板

1)溫度檢測(cè)值的顯示：氨、過(guò)氧化氫、水

2)報(bào)警信號(hào)的顯示(氨、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下 限、濃度上限、濃度上上限

3)報(bào)警信號(hào)值的設(shè)定(氨、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下限，濃度上限、濃度上上限

串行輸入

RS-232C

1)濃度數(shù)據(jù)：氨、過(guò)氧化氫、水

2)報(bào)警信號(hào)值的設(shè)定(氨、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限

并行輸入

DC12〜30V(光電耦合器絕緣)

并行溫度報(bào)警(有效/無(wú)效)

并行輸出

開(kāi)路集電極輸出為ON 時(shí)的**電流：5mA、為OFF時(shí)的**電壓：30V

1)報(bào)警信號(hào)輸出(氨、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限

2)裝置異常

3)漏液

模擬輸出

4〜20mA(2輸出：NH3濃度、H2O2濃度的2輸出)

＊與量程規(guī)格技術(shù)規(guī)格無(wú)關(guān)，可以使4〜20mA輸出對(duì)應(yīng)于0〜10%濃度。(請(qǐng)?jiān)谟嗀洉r(shí)指定)

電源

DC24V±10%， 2A

外形尺寸

CS-131：205(W)×329(D)×269(H)mm

CS-131C：291(W)×329(D)×269(H)mm

質(zhì)量

CS-131：約11kg

CS-131C：約12kg

連接配管尺寸

導(dǎo)入用、排出用外徑均為3mm(內(nèi)徑均為2mm)

配管接頭

Nippon Pillar Super型