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瑞士Lyncée tec、DHM反射式數(shù)字全息顯微鏡
瑞士Lyncée tec、DHM反射式數(shù)字全息顯微鏡

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產(chǎn)地

瑞士

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瞬渺科技(香港)有限公司

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反射式數(shù)字全息顯微鏡

反射式配置數(shù)字全息顯微鏡,無需掃描,非接觸式測量動、靜態(tài)物體三維樣貌及振動特性的測量方法。根據(jù)波長的不同將反射式DHM分為三種型號:

R1000-配備單一光源,是測量光滑表面和振動的標準測量工具

R2100-同時配置雙波長,實現(xiàn)復雜或不連續(xù)結(jié)構的測量。

R2200-在R2100基礎上多了第三方光源來擴展測量能力,特別是測量透明模式。

反射式DHM的特性:

快速3D樣貌測量法

MEMS分析,**頻率可達25Mh

DHM測量表面三維樣貌,單一響應,無需掃描機制。****的快速采集,相機速度達1000fps允許:

可變形樣品的3D動態(tài)研究

常規(guī)檢查與高生產(chǎn)率

短余輝熒光屏及大型表面的分析

捕捉生產(chǎn)線的三維地貌

同步DHM 可選頻閃單元,測量MEMS裝置的激勵信號。這一獨特數(shù)據(jù)分析提供:

三維地貌的時序

共振頻率和響應

振動振幅平面外分辨率可達5pm,平面內(nèi)可達1nm

表征復雜運動和樣品

測量可控制環(huán)境條件

透明模式的地貌測量

DHM獨特的光學配置允許用戶測量**光學質(zhì)量指標:

通過玻璃和浸沒液體

內(nèi)部環(huán)境和真空室,控制溫度,濕度,壓強,氣體成分。

可選DHM反射式測量法分析軟件允許以下測量:

透明結(jié)構的地形

厚度和折射率,多層結(jié)構的厚度值

從10nm到幾十微米

柔軟材料和液體的地形

反射式DHM主要參數(shù):

系統(tǒng)

DHM型號

R1000

R2100

R2200

光源數(shù)量

1

2

3

操作波長(±0.1nm)

666nm

794nm

666 nm, 794 nm, 680 nm

激光波長穩(wěn)定性

0.01 nm / °C at 666

樣品臺

手動或自動XYZ平臺,行程300 mm x 300 mm x 38 mm

物鏡

放大倍數(shù)1.25x到100 x,標準,高數(shù)值孔徑,長工作距離,水/油浸物鏡

物鏡轉(zhuǎn)輪

六孔轉(zhuǎn)盤

計算機

DELL工作站,**多核Intel處理器,高性能圖像卡,配置*小21英寸顯示屏及鼠標,

軟件

基于C++和.NET的Koala軟件,額外可選軟件模塊可用于先進分析

數(shù)據(jù)兼容性

測量數(shù)據(jù)記錄在二進制表格,可導出.txt格式,記錄和重建圖像可導出.tif格式或.txt數(shù)組

技術參數(shù):

性能參數(shù)

測量模式

666nm單波長

合成短波長4.2um

合成長波長24um

DHM型號

R1000,R2100,R2200

R2100,R2200

R2200

精度[nm]

0.15

0.15 / 3.0 *

20

垂直分辨率[nm]

0.30

0.30 / 6.0 *

40

重復性[nm]

0.01

0.01 / 0.1 *

0.5

垂直測量范圍

up to 200 μm

up to 200 μm

up to 200 μm

銳利邊緣**臺階高度

up to 333 nm

up to 2.1 μm

up to 12 μm

表面類型

光滑表面

復雜,非連續(xù)表面

復雜非連續(xù)表面

垂直校準

取決于干涉濾光片,±0.1 nm

響應時間

標準500us,10us(可選)

響應速度

標準30幀(1024*1024像素),可選達1000幀

重建速率

高達25幀1024*1024像素全息圖(依賴于數(shù)據(jù)分析)(可選60幀)

水平分辨率

取決于物鏡,低至300nm

視野

取決于物鏡,從66um x66um到5um x5um范圍

工作距離

取決于物鏡,從0.3到18 mm

數(shù)字對焦

取決于物鏡,高達50 x景深

*小樣品反射率

低于1%

樣品照明

低至1 μW/cm2

頻閃裝置

兼容單一,合成短波長

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