測(cè)量模式

單波長(zhǎng)

雙波長(zhǎng)

垂直掃描

精度

0.1nm

25nm(0.1nm)

0.5um

垂直分辨率

0.2nm

50nm

1.0um

重復(fù)性

<0.01nm

0.25nm(<0.01nm)

<0.05nm

垂直標(biāo)定

取決于波長(zhǎng)，無(wú)須機(jī)械校準(zhǔn)

垂直測(cè)量范圍

對(duì)于光滑樣品，可達(dá)場(chǎng)深；

垂直掃描測(cè)量范圍

可達(dá)10mm，取決于z平臺(tái)

側(cè)向分辨率

取決于物鏡，油鏡可達(dá)300nm(1.4NA)

視場(chǎng)

取決于物鏡，從0.3mm到18mm

數(shù)字聚焦范圍

達(dá)50倍場(chǎng)深(取決于物鏡)

采集時(shí)間（1幅全息圖）

可達(dá)1us

空間采樣

1024*1024像素

采樣頻率

15fps(1024*1024像素)（可選達(dá)30fps）

單波長(zhǎng)重建速率

15fps(512*512像素)，4fps（1024*1024像素）

雙波長(zhǎng)采樣時(shí)間

1.5s

垂直掃描采樣時(shí)間

掃描速度：6um/s，重建時(shí)間：6s

樣品照明

低于1uw/平方厘米

系統(tǒng)

測(cè)試技術(shù)

單波長(zhǎng)與雙波長(zhǎng)垂直相干掃描數(shù)字全息顯微鏡

圖象類型

強(qiáng)度及定量相位對(duì)比圖象（DHM模式），光學(xué)相貌（垂直掃描）

光源

雙單色激光

樣品臺(tái)

手動(dòng)或自動(dòng)XYZ平臺(tái)

相機(jī)

1392*1040像素，8比特

有效物鏡

標(biāo)準(zhǔn)，高數(shù)值孔徑，長(zhǎng)工作距離，水/油浸物鏡

物鏡固定

4孔轉(zhuǎn)盤或六孔

計(jì)算機(jī)

Intel處理器，DELL工作站，19”SXGA顯示器

軟件

基于C++和.NET的Koala軟件

可選工作模式

頻閃模式