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儀器簡(jiǎn)介：電化學(xué)ECV，摻雜濃度檢測(cè)（C-V Profiling）PN結(jié)深測(cè)試

電化學(xué)ECV可以用于太陽(yáng)能電池、LED等產(chǎn)業(yè)，是化合物半導(dǎo)體材料研究或開發(fā)的主要工具之一。

電化學(xué)ECV主要用于半導(dǎo)體材料的研究及開發(fā)，其原理是使用電化學(xué)電容-電壓法來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料的摻雜濃度分布。

電化學(xué)ECV(CV-Profiler， C-V Profiler)也是分析或發(fā)展半導(dǎo)體光-電化學(xué)濕法蝕刻(PEC Etching)很好的選擇。

本設(shè)備適用于評(píng)估和控制在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的外延過(guò)程并且以被使用在多種不同的材料上，　例如：Silicon， Germanium， III-V including III-Nitrides.

CVP 21 的凈室和模塊化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)使得本系統(tǒng)可以高效率，準(zhǔn)確的測(cè)量半導(dǎo)體材料（結(jié)構(gòu)，層）中的摻雜濃度分布．選用合適的電解液與材料接觸，腐蝕，從而得到材料的摻雜濃度分布。電容值電壓掃描和腐蝕過(guò)程由軟件全自動(dòng)控制

CVP21的系統(tǒng)特點(diǎn)

• 堅(jiān)固可靠的模塊化系統(tǒng)結(jié)構(gòu) ．光學(xué)，電子和化學(xué)部分相對(duì)獨(dú)立．

• 精確的測(cè)量電路模塊

• 強(qiáng)力的控制軟件，系統(tǒng)操作，使用簡(jiǎn)便

• 完善的售后服務(wù)

提供免費(fèi)樣品測(cè)試并提供測(cè)試報(bào)告。

保修期：2年，終身維修。

對(duì)用戶承諾終身免費(fèi)樣品測(cè)試每月1次。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品**結(jié)合我們?cè)陔娀瘜W(xué)方分布測(cè)試方面超過(guò)３０年的經(jīng)驗(yàn)和世界上***的電路系統(tǒng)?！?

全自動(dòng)，　特別適用于新材料，　如氮化鎵，　碳化硅材料等?！?

有效檢測(cè):

•外延材料

•擴(kuò)散

•離子注入

適用材料: CVP21應(yīng)用范圍寬，可以用于絕大多數(shù)的半導(dǎo)體材料。

IV族化合物半導(dǎo)體如：硅(Si)、鍺(Ge)、碳化硅(SiC)等…

III-V族化合物半導(dǎo)體如：砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、磷化鎵(GaP)等…

三元III-V族化合物半導(dǎo)體如：鋁鎵砷(AlGaAs)、鎵銦磷(GaInP)、鋁銦砷(AlInAs)等…

四元III-V族化合物半導(dǎo)體如：鋁鎵銦磷(AlGaInP)等…

氮化物如：氮化鎵(GaN)、鋁鎵氮(AlGaN)、銦鎵氮(InGaN)、鋁銦氮(AlInN)等…

II-VI族化合物半導(dǎo)體如：氧化鋅(ZnO)、碲化鎘(CdTe)、汞鎘碲(HgCdTe)等…

其他不常見半導(dǎo)體材料(可以聯(lián)系我們進(jìn)行樣品測(cè)量)。

載流子濃度測(cè)量范圍:

•** 1021/cm³

•*小 1011/cm³

深度解析度:

•**無(wú)上限

•*小可至1 nm （或更低）

模塊化系統(tǒng)結(jié)構(gòu):

•拓?fù)湫徒Y(jié)構(gòu)

•實(shí)時(shí)監(jiān)控腐蝕過(guò)程

•適于微小樣品及大尺寸的晶圓

全自動(dòng)化系統(tǒng):

主要特點(diǎn)：

CVP21電化學(xué)ECV是半導(dǎo)體載流子濃度分布**的解決方案：

1， CVP21應(yīng)用范圍寬，可以用于絕大多數(shù)的半導(dǎo)體材料。

* IV族化合物半導(dǎo)體如：硅(Si)、鍺(Ge)、碳化硅(SiC)等…

* III-V族化合物半導(dǎo)體如：砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、磷化鎵(GaP)等…

* 三元III-V族化合物半導(dǎo)體如：鋁鎵砷(AlGaAs)、鎵銦磷(GaInP)、鋁銦砷(AlInAs)等…

* 四元III-V族化合物半導(dǎo)體如：鋁鎵銦磷(AlGaInP)等…

* 氮化物如：氮化鎵(GaN)、鋁鎵氮(AlGaN)、銦鎵氮(InGaN)、鋁銦氮(AlInN)等…

* II-VI族化合物半導(dǎo)體如：氧化鋅(ZnO)、碲化鎘(CdTe)、汞鎘碲(HgCdTe)等…

* 其他不常見半導(dǎo)體材料(可以聯(lián)系我們進(jìn)行樣品測(cè)量)。

2， CVP21可用于不同形態(tài)的樣品：多層結(jié)構(gòu)的薄膜材料、基底沒(méi)有限制(基底導(dǎo)電或絕緣均可)、標(biāo)準(zhǔn)樣品尺寸從4*2mm ~ 8英寸晶圓(更小尺寸樣品請(qǐng)預(yù)先咨詢我們)。

3， CVP21擁有很好的分辨率范圍。

* 載流子濃度分辨率范圍從< 1012 cm-3 ~ > 1021 cm-3

* 深度分辨率范圍從1nm ~ 100um (依樣品類型、樣品質(zhì)量決定)

4， CVP21是一套完整的電化學(xué)ECV測(cè)量系統(tǒng)。

* 系統(tǒng)可靠性高(儀器的電子、機(jī)械、光學(xué)、液體傳動(dòng)幾個(gè)主要部分均經(jīng)特殊設(shè)計(jì))

* 免校準(zhǔn)的系統(tǒng)(完全自校準(zhǔn)的電子系統(tǒng)，電纜電容均無(wú)須用戶再次校準(zhǔn))

* 易于使用(全用戶管理軟件優(yōu)化，在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境或生產(chǎn)環(huán)境均易于使用)

* 照相機(jī)鏡頭控制(過(guò)程在線由彩色照相機(jī)鏡頭控制；每次測(cè)量后，鏡頭數(shù)據(jù)均可取出。)

* 實(shí)驗(yàn)菜單(測(cè)量菜單預(yù)定義，優(yōu)先權(quán)用戶可以很容易修改或改進(jìn)測(cè)量菜單)

* Dry-In/Dry-Out: Auto-Load/Unload/Reload (電化學(xué)樣品池自動(dòng)裝載/卸載/再裝載，優(yōu)先權(quán)用戶易于修改，進(jìn)行樣品dry-in/dry-out處理。)