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技術(shù)參數(shù)：
* 輸出波長：157nm， 193nm， 222nm， 248nm， 308nm， 351nm.
* 單脈沖能量：0.3-360mJ。
* **重復頻率：60-300Hz.
* 脈沖寬度： 2.5-27ns
* 每次充氣后，氣體的工作壽命： **可達107 此性能指標和所用工作氣體有關(guān)。
* 閘流管質(zhì)保期限： 2年或3x108次工作脈沖。
主要特點：
* 特點：金屬陶瓷腔結(jié)構(gòu)，采用“柔和”的電暈預電離技術(shù)，更有效的腔內(nèi)微顆粒過濾器。 采用長壽命閘流管，工作更穩(wěn)定可靠。具有優(yōu)異的光斑均勻性和脈沖工作穩(wěn)定性。低消耗 KrCl 222nm 輸出。
* 應用：光纖布拉格光柵制作，激光電離質(zhì)譜，激光感生熒光光譜，光化學，光剝蝕和微加工，表面分析，半導體工業(yè)，時間遲豫研究，非線性光學，染料激光泵浦，脈沖激光沉積，近視眼治療等光譜學，材料科學和醫(yī)學應用。
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