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德國樣本
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Axio Imager.Vario具有寬大樣品空間,十分適合于半導(dǎo)體行業(yè)(比如太陽能電池、晶圓加工檢測、平板顯示器(FPD))成產(chǎn)的材料檢測、工藝研發(fā),以及在線檢測。
技術(shù)參數(shù)
1、物鏡:5x、10x、20x、50x、100x(可選1.25x,2.5、150x,可選LD功能)。
2、目鏡:放大10x(可選16x、25x);視場數(shù)23(可選25)。
3、物鏡自動聚焦**行程:5mm。
4、樣品空間深度(光軸到立柱的距離);385mm。
5、載物臺行程:
透反兩用手動載物臺,200mmX200mm移動范圍;
反射光用手動載物臺,300mmX300mm移動范圍;
透反兩用電動載物臺,200mmX200mm移動范圍;
透反兩用電動載物臺,反射光用時300mmX300mm移動范圍,透射光用時200mmX200mm移動范圍。
6、顯微鏡模塊質(zhì)量:17.5到20kg。
7、光源:12V100W鹵素?zé)?,智能化光路管理器,光強色溫自動可調(diào)。
8、可擴展性:可選自動聚焦,可選透射光路。
暫無數(shù)據(jù)!