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ESDP變螺距干式螺桿真空泵
ESDP變螺距干式螺桿真空泵

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型號

ESDP變螺距干式螺桿真空泵

品牌

沃爾姆

產地

山東

樣本

暫無
煙臺沃爾姆真空技術有限公司

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 ■ ESDP干式螺桿泵的應用范圍

  ●ESDP系列在半導體合成及液晶生產上的應用,主要有半導體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護工件免受污染。

  ● 在石油化工中,主要是抽取可凝性氣體,或有毒氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。

  ●制藥行業(yè),用于藥物的真空干燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無菌條件等。

  ●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝

  ●工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng)

  ●擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝

  ●混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物

  ●食品行業(yè)用于香料、香精濃縮,食品包裝等。


  ■ ESDP干式螺桿真空泵技術參數(shù)


型號抽氣量極限壓力電機功率轉速進氣排氣冷卻水量噪聲重量
M3/hPaKWrpmmmmmL/mindBKg
ESDP3202601.337.5290065501080320
ESDP4303601.3311290065501280380
ESDP6505401.3315290080651280580
ESDP9007501.3318.52900100652080680
ESDP150014001.33372900125803082950

  如需得到更為詳細的信息,請咨詢客服。


  ■ ESDP干式螺桿真空泵標準配件

  基座和防護罩

  排氣消聲器及進氣分離器

  吸氣口

  止回閥

  真空計


  ■ ESDP干式螺桿真空泵可選配件

  吸濾器

  排氣冷凝器

  吸入式氣液分離器

  流量開關及溫度開關


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