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一、熔融石英玻璃
康寧供應的熔融石英有許多不同的等級,以支持不同的產(chǎn)品應用。玻璃代碼7980、7979 和 8655 是高純度熔融石英玻璃,具有優(yōu)良光學特性。
其產(chǎn)品特性包括:折射率變化極低,從而具有較高水平的同質性;雙折射值極低;尺寸大;覆蓋從紫外波段到紅外波段的透光率;所有這些特性對滿足客戶的苛刻要求都至關重要。
二、低膨脹玻璃
CorningULE?7973是一種含鈦硅酸鹽低膨脹玻璃,這種玻璃專為滿足遮蔽需求及用作紫外線光刻用途的光學基板而設計。7973 與 ULE? 7972 玻璃有相似的組成,也是采用相同的氣相沉積工藝制作的。光刻技術從 193nm向13.4nm工藝發(fā)展中所需要的一個主要的設計轉變,是步進光組由折射專為反射。 在反射光學中,基板材料應該是純粹無源的。入射光應被多層光學涂層及光掩膜反射開,不會因底層基板造成任何機械或光學上的變形。為了使微小溫度變化造成的變形減到*小,并達到嚴格的紫外線光刻規(guī)范,基板的熱膨脹系數(shù)(CTE)必須接近于零,并在膨脹范圍內嚴格控制在零附近。極低的熱膨脹系數(shù)需要達到每攝氏度十億分之一(ppb/C)。
三、氟化鎂玻璃
氟化鎂是一種耐用的低吸收晶體,適用于高功率激光、空間和其他紫外線應用。氟化鎂 也是自然的雙折射的,使它成為理想的可利用該特性的材料,如延遲板和偏振元件,特別是在0.13-0.30μm的波長范圍內。單晶錠專門在美國采用高純化材料生產(chǎn),確保一致的供應。全方位的形狀和表面,從坨料、坯料到復雜的多面,高度拋光零件都可選擇。提供了標準的(001)取向以及定制取向的零件和材料。各種表面處理和涂層可以定制和組合以滿足個別客戶的標準。
四、氟化鈣玻璃
氟化物晶體材料具有特殊的純度和質量,晶體材料在多波長下傳輸,可用于各種應用。康寧公司還提供設計工程、制造、拋光和涂層能力。氟化鈣是獨特的適合苛刻的深紫外線到紅外光學應用。氟化鈣物理穩(wěn)定,化學惰性強,硬度高,是微光刻和激光光學應用的**材料。單晶錠采用康寧公司的高純化材料工藝,確保高質量晶體等級的持續(xù)供應。一系列全方位的形狀可供選擇,從鋼錠到坯料和成品,包括復雜的多面結構和高度拋光的零件。我們提供標準定位,以及特定定位的零件。多種材料等級可滿足客戶的需求;可見紅外、紫外線、準分子、超準分子和激光耐久性。低吸收性涂層是根據(jù)客戶的標準而定制的,包括在反射、抗反射和部分反射應用中增強激光耐久性的涂層。
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