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Si外延設(shè)備石墨基座品牌
蘇州鎧欣產(chǎn)地
江蘇樣本
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產(chǎn)品特點
涂層厚度均勻,極差<10um
金屬雜質(zhì)含量<2ppm,本征電阻高涂層致密,無針孔,粗糙度可調(diào)控
> 耐刻蝕,壽命長
應用領(lǐng)域
>IC集成電路
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