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晶圓翹曲應(yīng)力測(cè)量?jī)xStress Mapper
晶圓翹曲應(yīng)力測(cè)量?jī)xStress Mapper

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面議

型號(hào)

晶圓翹曲應(yīng)力測(cè)量?jī)xStress Mapper

品牌

蘇州瑞霏

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無(wú)
蘇州瑞霏光電科技有限公司

高級(jí)會(huì)員

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第1年

|

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    -
  • 分辨率:

    -
  • 重現(xiàn)性:

    -
  • 儀器原理:

    其他
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    -
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    -
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優(yōu)勢(shì)

· 對(duì)各種晶圓的表面進(jìn)行一次性非接觸全口徑均勻采樣測(cè)量
· 簡(jiǎn)單、精確、快速、可重復(fù)的測(cè)量方式,多功能
· 強(qiáng)大的附加模塊:晶圓加熱循環(huán)模塊(**500度);表面粗糙度測(cè)量模塊;粗糙表面晶圓平整度測(cè)量模塊

 

適用對(duì)象

· 2 寸- 8 寸/12 寸拋光晶圓(硅、砷化鎵、碳化硅等)、圖形化晶圓、鍵合晶圓、封裝晶圓等;液晶基板玻璃;各類(lèi)薄膜工藝處理的表面

 

適用領(lǐng)域

· 半導(dǎo)體及玻璃晶圓的生產(chǎn)和質(zhì)量檢查
· 半導(dǎo)體薄膜工藝的研究與開(kāi)發(fā)
· 半導(dǎo)體制程和封裝減薄工藝的過(guò)程控制和故障分析

 

測(cè)量原理

· 晶圓制程中會(huì)在晶圓表面反復(fù)沉積薄膜,基板與薄膜材料特性的差異導(dǎo)致晶圓翹曲,翹曲和薄膜應(yīng)力會(huì)對(duì)工藝良率產(chǎn)生重要影響
· 采用結(jié)構(gòu)光反射成像方法測(cè)量晶圓的三維翹曲分布,通過(guò)翹曲曲率半徑測(cè)量來(lái)推算薄膜應(yīng)力分布,具有非接觸、免機(jī)械掃描和高采樣率特點(diǎn),12英寸晶圓全口徑測(cè)量時(shí)間低于30s
· 通過(guò)Stoney公式及相關(guān)模型計(jì)算晶圓應(yīng)力分布


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