功率（kw）：
-重量（kg）：
-規(guī)格外形（長*寬*高）：
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反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂獎，是半導體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部位。懸臂槳性能穩(wěn)定，在高溫環(huán)境下不變形，晶圓裝載量大，適用于機器人自動裝載和搬運系統(tǒng)。由于懸臂獎截面穩(wěn)定不變形，使得利用現(xiàn)有的爐管制備更大規(guī)格晶圓成為可能。
懸臂槳與LPCVD涂層的熱膨脹系數(shù)相近，應(yīng)用于LPCVD極大地延長了維護清洗周期，并大幅減少污染物。
暫無數(shù)據(jù)！
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