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晶圓襯底磨拋清洗液品牌
集特斯產(chǎn)地
廣東樣本
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產(chǎn)品名稱(chēng)：晶圓襯底磨拋清洗液
產(chǎn)品型號(hào)：JTS-SY01(FL) （PH值為堿性）
包裝規(guī)格： 1KG/瓶裝 5KG/壺裝 10KG/桶裝 25KG/桶裝
應(yīng)用特征： 本產(chǎn)品適用于晶圓襯底及光電晶體基材的 研磨拋光后制程 。主要清洗客戶產(chǎn)品表面 磨拋后的研磨液和拋光粉等臟污積留，有 效去除CMP制程在晶體表面殘留的硅溶膠 化合物，經(jīng)超純水漂洗過(guò)后產(chǎn)品表面潔凈 度特別高，接近RCA濕法清洗標(biāo)準(zhǔn)。屬于 集特斯聯(lián)合研發(fā)的特殊體系配方，專(zhuān)注于 減少CMP制程工藝中的硅溶膠化合物殘留。 有良好的污垢分散去除能力，本產(chǎn)品清潔 效果優(yōu)異，對(duì)晶體材料無(wú)腐蝕的同時(shí)也降 低員工在生產(chǎn)操作的風(fēng)險(xiǎn)
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