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1、技術(shù)指標(biāo)

環(huán)境溫度：5~32℃

空氣相對(duì)濕度：≤85%

工作電壓：AC220V±10%  50/60HZ

系統(tǒng)整體極限真空度：5.0×10^-5Pa

實(shí)驗(yàn)真空度：5.0×10^-3Pa

連接管路：采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10^-9Pa.m³/s

2、配置說(shuō)明  

2.1、機(jī)械泵：

抽氣速率：30m3/H

容油量：1.9L

電機(jī)功率：500W

極限壓強(qiáng)：5×10^-1Pa

2.2、分子泵：

抽氣速率：600L/S

極限壓強(qiáng)：6×10^-7Pa

啟動(dòng)時(shí)間：＜2min

額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分

冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；5-40℃時(shí)看，水冷。

2.3、分子泵控制器：

電壓：220V±22V

啟動(dòng)電流：≤7A

輸入頻率：47HZ—63HZ

**輸出功率：≤150W

**加速電壓：≤40V

加速時(shí)間：≤3min

頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ

             低速430HZ±5HZ

2.4、復(fù)合真空計(jì)：

測(cè)量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路）

工作模式：手動(dòng)/自動(dòng)（可切換）

電阻單元參數(shù)

規(guī)管型號(hào)：ZJ-52T電阻規(guī)

測(cè)量范圍：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

控制范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

電離單元參數(shù)

規(guī)管型號(hào)：ZJ-27電離規(guī)

可測(cè)范圍：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

控制范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

規(guī)管除氣方式：焦耳去氣

控制方式：點(diǎn)動(dòng)或區(qū)域控制/帶掉電記憶

控制精度：±1%

采樣時(shí)間：1S

電源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用環(huán)境溫度：0℃~45℃

濕度：≤85%