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硅旋轉(zhuǎn)靶采用等離子噴涂或者燒結(jié)綁定工藝，可生產(chǎn)**長度4000mm，厚度根據(jù)客戶要求定制。硅平面靶采用拉晶生長工藝，可生產(chǎn)**長度600mm，**寬度400mm，尺寸可根據(jù)客戶要求加工
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