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Jf型真空機(jī)組技術(shù)參數(shù)：
| 型號 Model | JF-150/450 | JF-250/1400 | JF-400/3500 | |
| 極限壓力 Ultimate pressure | 不烘烤（Pa） Without baking | 10-4 | ||
| 烘烤（Pa） With baking | 10-6 | |||
| 前級壓力（Pa） Backing pressure | 10 | |||
| 主泵抽氣速（L/S） Pumping speed | 450 | 1400 | 3500 | |
| 配用主泵 Matched main pump | F-150/450 | F-250/1400 | F-400/3500 | |
| 配用前級泵抽速（L/S） Pumping speed backing pump matched | 8 | 30 | 70 | |
| 接口法蘭 Connecting flange | 高真空用（mm） Used in high vacuum | LF-160 | LF-250 | LF-400 |
| 超高真空用（mm） Used in high vacuum | CF-160 | CF-250 | CF-400 | |
| 結(jié)構(gòu)尺寸 Structure dimensions | H（mm） | 550 | 850 | 1000 |
| L（mm） | 450 | 550 | 680 | |
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