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全自動晶圓激光打標機 HDZ-WAF600品牌
大族激光產地
廣東樣本
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打標及CCD系統(tǒng):
1、結合二維運動平臺、激光打標系統(tǒng)、上下位置攝像系統(tǒng)。
2、二維運動平臺集成直線電機。
3、上位攝像頭根據晶圓特征點提供位置數(shù)據信息。下面的檢查攝像系統(tǒng)將測量真實的標記位置。
4、系統(tǒng)根據以上所述2臺相機測量數(shù)據判斷打標位置偏移是否在公差范圍內。
規(guī)格：
| 1 | 控制系統(tǒng) | 光學掃描儀+控制卡+WIN7 | |
| 2 | 激光 | 波長 | 355nm |
| 3 | 功率 | 3W | |
| 4 | Fθ 鏡 | Box：50*50mm (取決于達標效果) | |
| 5 | 冷卻方式 | 水冷 | |
| 6 | 2D平臺 | 行程 | 400x300mm（線性平臺） |
| 7 | 重復定位精度 | ±0.002mm | |
| 8 | *小線高 | 0.05mm | |
| 9 | 加工產品尺寸 | 6英寸 8英寸 12英寸 晶元 | |
| 10 | 設備重復加工精度 | ±0.05mm | |
| 11 | 定位精度 | ||
| 12 | 支持的文件格式 | Dxf, plt etc | |
| 13 | 電力需求 | 單相 220V | |
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